二手 VEECO / EMCORE TurboDisc K465i GaN #9397191 待售

VEECO TurboDisc K465i氮化氙（GaN）反應器是一種先進的半導體器件，用於復雜半導體材料的生長。該K465i是一個單一的晶圓反應器，工程與集成TurboDisc原子層沈積（ALD）和分子束外延（MBE）系統。K465i GaN反應堆的TurboDisc設計確保了統一、無工具、低成本的運行。通過將均勻的渦輪盤狀晶片處理系統集成到其反應堆中，K465i可以達到比傳統反應堆更高的精度水平。此外，渦輪盤式設計最大限度地減少了環境空氣造成的汙染，減少了溫度分布不均造成的熱應力，並允許提高工藝的重復性和更高的吞吐量。K465i GaN反應堆配備了高穩定性、高效的Tri-Quadra線圈技術，能夠以最小的功耗產生持續的連續沈積。在整個沈積過程中，線圈保持穩定和可靠，允許可重復的過程性能和高產率。該反應器還具有真拖把模式擴散覆蓋和對流傳質的特點，以便於大面積覆蓋和使用低成本材料改善薄膜生長。此外，K465i反應堆設計有一個自動化控制系統（ACS），能夠在350-1200°C的支撐溫度範圍內監測和控制生長狀況。ACS配備了多種集成控制器,包括：加熱、安全和冷卻。利用這一高級功能,K465i可以在各種溫度、壓力和增長率下生長材料,從而實現靈活可靠的過程。K465i的GaN反應堆已被證明能產生穩定、均勻、高質量的GaN薄膜。利用其TurboDisc技術，反應堆能夠創造出具有改進的電氣特性、優越的光學傳輸和增強的器件性能的GaN薄膜。因此，K465i是在商業市場上制造高效半導體器件的理想選擇。