二手 VEECO / EMCORE TurboDisc K465i GaN #9409670 待售
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VEECO/EMCORE TurboDisc K465i GaN是一種高性能的MOCVD（金屬有機化學氣相沈積）反應器，專門為氮化氙（GaN）層的沈積而設計。這是開發先進的基於GaN的光電器件如激光器、異質結雙極晶體管（HBT）和其他電子器件的理想工具。該設備采用強大的激光和腔室設計，以確保生產高產大直徑晶片的可靠均勻性。VEECO TurboDisc K465i GaN反應器具有一個快速旋轉的機電快門，用於基板保護，允許快速晶圓電池和快速晶圓變化。這與快速清除和下泵操作相結合,以提高處理速度和吞吐量。此外，反應堆有氣體混合包和專門的氣體控制系統，用於精確氣體輸送。這樣可以靈活地優化反應堆壓力、溫度和氣體流速等工藝參數。EMCORE TurboDisc K465i GaN反應堆裝有先進的機器人基板處理和換擋裝置。其特點是占地面積小，運行速度快，晶圓裝載機大小。此外,該機器還具有可定制且直觀的GUI（圖形用戶界面）,便於操作和配方格式。TurboDisc K465i GaN反應堆具有高效的渦輪分子泵，可減少泵送時間，提供卓越的真空穩定性和更長的泵送壽命。它還配備了快速直接冷卻工具，可以安裝在反應堆室的兩側。這種冷卻資產可以幫助用戶即使在苛刻的操作條件下也能保持腔室冷卻。此外，快速冷卻模型還可用於熱退火和晶片粘合。VEECO/EMCORE TurboDisc K465i GaN反應堆針對長期均勻性和高產率運行進行了優化，底物均勻性好，缺陷密度低，生產產量好。總之，VEECO TurboDisc K465i GaN反應堆是生產高性能基於GaN的光電器件的一種高度先進、可靠的設備，可實現可靠和可重復的結果。
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