二手 VEECO / EMCORE TurboDisc K465i #293586463 待售

VEECO/EMCORE TurboDisc K465i反應器是一種先進的化學氣相沈積（CVD）設備，旨在促進高產復雜結構的快速可靠制造。該系統旨在以經濟高效的方式提供高精度的單晶層材料。該裝置具有優異的熱性能和更好的均勻性，具有較大的腔室體積和最多四個用於堅固沈積的源。它配備了四個獨立的氣體面板，允許多源、多層沈積過程，每個氣體面板都有獨特的工藝響應設置。高性能、全自動控制器允許對流程參數和配方設置進行編程,以實現流程的自動化和控制。VEECO TurboDisc K465i具有極好的均勻性,具有廣泛的來源選擇和最多四個獨立的沈積來源。它具有運行間有0.5%的過程重復性、優良的粒徑和形態控制以及+/-5C以上的溫度均勻性。由於腔室體積大，沈積/蝕刻速度快，它還提供了高通量的工藝。EMCORE TurboDisc K465i的動力是由革命性的電源設計提供的，它結合了高功率效率和精確的能量控制。它提供了高功率密度和低熱電阻的完美組合,非常適合廣泛的應用。TurboDisc K465i旨在提供高質量的控制、可靠性和可重復性,有助於確保可靠的生產。這臺機器是完全自動化的，能夠進行多氣體和多層沈積過程。它是研究、開發和生產應用的理想選擇。VEECO/EMCORE TurboDisc K465i是任何先進材料研究和沈積過程中必不可少的工具。它旨在以一致的產量提供可靠和可重復的結果,並為經濟高效的流程提供前所未有的功能。