二手 VEECO / EMCORE TurboDisc K475 As/P #9358482 待售

VEECO TurboDisc K475 As/P等離子體反應堆是半導體研究和生產的先進工具。它旨在在非視線條件下創造出超高質量的等離子體工藝。這座反應堆提供了緊湊的設計、靈活的配置和高質量的生產工藝。反應堆裝有TurboDisc等離子體源，具有不對稱偏置磁場，用於增強對等離子體的控制。此高級源使用戶能夠產生超光滑的表面以及增強的等離子體控制。它還具有針對生產級工藝條件的超快速調整功能。K475 As/P上的高級工藝室設計為提供穩定的處理環境。它配備了包括RF、磁控管、平面、網格等多種多樣的電極。此外，腔室還包括多區域配置，允許在不同的加工條件下加工多種基板。K475 As/P還具有先進的控制系統,提供精確的設置和儀表。利用內置的可編程控制器，用戶可以創建、存儲和檢索多個條件和配方。該系統還允許輕松設置流程參數,使客戶能夠優化流程結果。EMCORE TurboDisc K475 As/P等離子體反應器具有生產水平的吞吐量和產量。它還符合一些健康和安全標準，包括SEMI S2和ISO 9001。憑借其先進的設計、優質的等離子體加工條件和穩健的控制系統，這種等離子體反應堆是半導體研究和生產的絕佳選擇。