二手 VEECO / EMCORE TurboDisc K475 As/P #9375083 待售

VEECO TurboDisc K475 As/P是一種先進的用於制造薄結晶膜的高速度外延反應器。該反應堆利用感應耦合等離子體（ICP）源和兩軸和四卡盤級相結合的同時作用，提供獨特的設備性能和靈活性。該室采用三法蘭設計，以提高抽水效率，並采用獨特的陶瓷底座，以減少熱梯度和不均勻射頻載荷的影響，從而提高均勻性。ICP的渦輪增壓功率可實現高達10nm/min的持續超高沈積速率,確保可重復的薄膜厚度和高沈積均勻性。兩軸腔允許大面積均勻性與快速晶圓到晶圓交換時間。四卡盤多站工藝可以在保持均勻性的同時生產大基板面積。K475 As/P具有高效的晶圓冷卻和熱隔離功能,可通過策略上間隔的工藝墊片和隔離吊艙來最大程度地減少漂移並實現穩定的熱性能。該系統還采用高端半自動物料處理系統進行設計,可提高吞吐量和易於操作,同時提供更清潔的環境。該設備采用觸摸屏界面實現了完全計算機化，便於監控、控制和配方維護。它提供了實時流程反饋、數據記錄和圖形程序的獨特組合,以提高產量性能。它還包括Cat-CVDTM、BoostTM、ALD、MOCVD、PCR和PECVD等先進工藝，使得高質量薄膜的制造成為可能。此外,該機器還包括遠程訪問維護和校準,包括零件疲勞的自我診斷、啟動延遲時間等等。通過所有這些功能,K475 As/P為各種具有挑戰性的半導體應用提供了可靠高效的制造解決方案。