二手 VEECO / EMCORE TurboDisc K475 #9372880 待售
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VEECO/EMCORE TurboDisc K475是為復合半導體材料外延而設計的反應堆。它由一個可旋轉的圓盤驅動，用來移動底物通過反應堆。高精度的X-Y級允許基板在兩個平面中進行精確和可重復的運動以進行受控沈積。反應堆的來源到基板距離可達5mm，最大基板直徑為20英寸。該工藝室設計為用防擴散設備密封，以確保反應堆的清潔度。室內的加熱元件為基板表面和沈積提供了一致的溫度。該系統采用先進的兩源供應系統，內部氣體歧管裝置旨在通過三個獨立的進料條永久儲存、管理和輸送多達四種氣體。加熱機允許可編程的溫度條件和均勻的溫度控制，為生長過程中的可靠結果提供了高度的精度。反應堆還設計方便，低維護操作。它具有直觀的觸摸屏界面，用於連接計算機和訪問實時機器控制操作。該接口包括內置的安全功能，如自動關閉和報警系統。最後，采用各種傳感器來監測整個過程中的各種參數。這些傳感器可用於檢測和管理沈積速率、氣體流量、腔室溫度、基板溫度、過程真空和氣體組成。總體而言，VEECO TurboDisc K475是為各種復合半導體材料外延而設計的先進反應堆。其高精度的階段、源到基板的距離、溫度控制、雙源供應和先進的安全特性，確保了一個可重復和可靠的過程，低需要維護。
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