二手 VEECO / EMCORE TurboDisc K475i As/P #9231840 待售

VEECO TurboDisc K475i As/P反應堆是一種在半導體和光電應用中提供高質量、多用途沈積性能的中型動力裝置。它是一個四區石英船反應堆，能夠實現精密的高速率沈積。該反應器針對Si、SiC、Ge、GaAs、AlN、GaN等材料的沈積以及光學塗層應用進行了優化。反應堆配有先進的有源電源，允許用戶將源功率從每區10瓦到450瓦不等，允許材料高速率沈積到各種基板上。此外,K475i As/P還利用脈沖電源提供高達100 kHz頻率的脈沖,以實現高重復率沈積。而且，該機組還能進行快速熱退火。該反應堆還具有兩個獨立的氣體控制系統，能夠對過程氣體進行精確的流量控制。這可以讓使用者獨立控制製程室壓力，以及沈積氣體的數量。此外，K475i還具有整體主動冷卻布置，有助於保持基板溫度，保持沈積過程的完整性。整體溫度控制也有助於降低尖端高速應用過程中的溫度。此外，可伸縮快門系統提供了對沈積速率和角度的動態控制。加速器磁場是完全可調的，可以編程，以確保針對特定應用優化的系統性能。此外，K475i還有一個綜合的綜合診斷系統，包括測量射頻功率、諧振器電壓、頻率和溫度的能力。結合這些特點,使K475i成為一種強大可靠的材料沈積裝置.