二手 VEECO / EMCORE TurboDisc K475i As/P #9246072 待售

VEECO TurboDisc K475i As/P是一種大功率、直流（DC）供電的陰極電弧等離子體反應器，設計用於高速率沈積或蝕刻各種材料。該反應堆利用氣體註入系統，創造出一種高能等離子體，材料通過該等離子體與環境劑發生反應。該反應器采用直接負輸入（DNI）電源，可實現穩定、精確的沈積和蝕刻。TurboDisc K475i As/P由一個腔室、電子束槍、電子收集器（作為電極）和陽極組成。與電子束槍耦合的EMCORE直流電源產生一個小的、強烈的電子流，它撞擊工件（基板）的表面。這種能量隨後被轉移到電弧和氣體從氣體註入系統註入到腔室中。氣體的特點是基本上被電離；電離氣體形成等離子體，從而加速沈積速率並降低工藝溫度。TurboDisc K475i具有比傳統等離子體技術更高的穩定沈積或蝕刻速率。其高功率密度參數支持復雜的多層沈積，並在高密度蝕刻中取得成功，且熱或應變效應最小。電源還包括專有功能,如高級電源管理邏輯（APML）,用於控制每個循環所需的精確電源。這也使得與各種前體源以及底物要求完全兼容。VEECO/EMCORE TurboDisc K475i As/P適用於廣泛的精密塗層和表面整理應用，包括半導體和MEMS制造、太陽能電池沈積和顯示器。反應堆由於其靈活性和易用性，非常適合研發或生產規模任務。此外,系統還具有廣泛的操作參數、對各種精確功率級別的適應性,以及高級智能、控制和安全功能,可實現無故障操作。因此，該反應堆提供了最高的質量和一致性，允許更高的吞吐量，同時提供優越的成本每晶圓。