二手 VEECO / EMCORE TurboDisc MaxBright #293667120 待售

VEECO/EMCORE TurboDisc MaxBright反應器是一種功能強大的半導體加工工具，設計用於在短時間內在大面積上高效沈積薄膜和納米結構。它是第一個商用的快、寬、薄膜沈積系統，采用先進的三盤腔設計，以最大限度地提高吞吐量和性能。TurboDisc依靠電子束（EB）蒸發技術將材料沈積在雙面3D保形覆蓋的晶片或基板上。EB槍在高射頻下運行，以旋轉軌道變化的多個電子束，以達到基板上所需的目標。其結果是比傳統的單源沈積方法沈積速度更快，使得底物的缺陷和損傷明顯減少。該室采用整潔、模塊化的設計，便於維修和重新配置。它有一個13英寸的基板級，可以適應任何超過130個晶片的模式，以每分鐘30個晶片的速度在一個周期內進行處理。該系統還具有寬面積沈積的12.7「基底至淋浴頭距離，以及15.75」的工藝室高度，使沈積能夠在廣泛的批量生產吞吐量和最大的工藝靈活性中發生。TurboDisc具有高分辨率顯示器和用戶友好的圖形用戶界面（GUI）,具有多種過程控制選項,如雙帶和多層沈積。它還具有高速算法控制和配方管理，用於跟蹤多個作業和配方。該軟件還允許遠程管理系統和監控流程參數。TurboDisc采用了最新的硬件技術，是業界生產大批量薄膜和納米結構的最先進的反應堆。它旨在提高吞吐量並最大限度地減少材料損失,從而確保在許多大面積沈積應用中,每晶圓的產量最高,投資回報率最高。