二手 VEECO Fiji G2 #293794622 待售
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ID: 293794622
優質的: 2021
Atomic Layer Deposition (ALD) system
Substrate size: Up to 200 mm
Cooler
Single chamber
Ozone generator
Cooling system for process chamber
Dry vacuum pump with filters
Loadlock
Glove box
Heat source
Process chambers for 2D and 3D elements
Liquid sources: H2O, TMA, DEZ, TiCl4
Gas lines: O2, H2
Toxic gas lines: SiH4, NH2, H2S
Temperature: 300°C
Substrate temperature:
500°C 200mm Substrate heater standard
800°C 100mm Substrate heater optional
Deposition uniformity:
1σ Uniformities
Thermal AI203-1.5%
Plasma AI203-1.5%
Gases:
Gas / Size
Ar / 100 SCCM
Ar / 200 SCCM
N2 / 100 SCCM
O2 / 100 SCCM
H2 / 100 SCCM
PC
Operating system: Windows 7
Power supply: 220-240 VAC, 4200 W
2021 vintage.
VEECO斐濟G2是一種先進的薄膜沈積設備,專門為半導體、電子、光學等領域的研發應用而設計。這種反應堆是一種最先進的工具,能夠精確控制沈積過程,使研究人員能夠制造出具有非凡均勻性和重復性的高質量薄膜。斐濟G2系統的核心是其先進的氣體輸送裝置,可以精確控制沈積過程。反應堆配有多個氣源,每個氣源都可以獨立控制,根據所需薄膜的具體要求量身定制沈積條件。這種靈活性使研究人員能夠沈積各種材料,包括氧化物、氮化物和金屬,其成分和性質各不相同。斐濟VEECO G2具有高溫沈積室,可達到1000°C的溫度,允許沈積復雜薄膜結構,並使外延層生長。機器還配備了精確的溫度控制工具,確保基板的均勻加熱,從而產生高度均勻且無缺陷的薄膜。斐濟G2反應堆的關鍵優勢之一是它在處理各種基材尺寸和類型方面的多功能性。該資產與直徑最大6英寸的基板兼容,包括矽片、玻璃和其他薄膜研究常用的材料。反應堆還配備了鎖載室,可以快速高效的底物裝卸,最大限度地減少停機時間,最大限度地提高生產率。除了先進的氣體輸送和溫度控制能力外,VEECO斐濟G2還具有用於等離子體增強沈積過程的綜合射頻等離子體源。等離子體源可以輕松調諧,提供所需的離子能量和通量,使研究人員能夠優化薄膜生長條件,以提高薄膜質量和附著力。斐濟G2配備了先進的控制模型,可以實時監測和調整沈積參數。研究人員可以使用直觀的軟件界面輕松編程復雜的沈積配方,從而能夠精確控制薄膜厚度、成分和結構。該設備還具有全面的數據記錄和分析工具,使研究人員能夠跟蹤沈積過程並分析沈積膜的質量。總體而言,VEECO斐濟G2反應堆是薄膜研究和開發的有力工具,對沈積過程提供了無與倫比的控制,使高質量的薄膜能夠生長,具有非凡的均勻性和可重復性。其先進的功能和多功能性使其成為從事半導體、電子和光學領域研究人員的理想選擇,在這些領域,精確控制薄膜性能對於實現所需的設備性能至關重要。
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