二手 VEECO K475 #9364542 待售

VEECO/DEKTAK K 475反應堆是用於先進材料研究的精密、高性能反應堆。它是為了快速表征薄膜的電性能而設計的，來自矽、砷化氙、GaN等多種材料。這個反應堆提供了令人難以置信的強大，易於使用的功能，允許可靠的，可重復的結果。VEECO K 475反應堆是一種直流電（DC）濺射反應堆，非常適合金屬、氧化物、氮化物等薄膜以及其他介電材料的原子沈積。其獨特的連續沈積和蝕刻的直流雙磁控管源增強了其性能。它還具有一個敏感、快速的電氣測量子系統，能夠進行極其精確的薄片和接觸電阻測量。用戶還可以從各種基板支架中進行選擇，範圍從標準晶片到部分安裝的基板。反應堆具有先進、自動化的運動控制功能,可實現最佳的精度和可重復性.它可以將晶片精確定位在3 μ m以內，實現晶片表面對5Ω/sq的細粒控制。反應堆還配有高性能沈積控制系統，通過自動控制沈積速率、均勻性和工藝精度，確保性能完美。反應器的濺射占空比可根據最佳沈積速率和最佳沈積速率與蝕刻速率之間的平衡進行調整。DEKTAK K475反應堆的主要目的是為先進材料研究制造高純度薄膜。它為開發越來越高效和可靠的先進材料鋪平了道路，為研究人員和行業從業人員提供了評估其材料的有力工具。該反應堆為研究和制造用於光電子、電信和數據存儲的新型高精度多層薄膜提供了理想的平臺。