二手 VEECO MaxBright #293650486 待售
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VEECO MaxBright是VEECO Instruments Inc制造的一系列等離子體化學氣相沈積（PECVD）反應堆中最新的一種。MaxBright Reactor設計用於生產更均勻、質量更高、成本效益更高的薄膜塗層，可以廣泛應用。VEECO MaxBright Reactor使用射頻等離子體發生器為塗層應用創造最佳環境。它采用創新的雙向設計，結合負離子和正離子，產生最高水平的等離子體密度和均勻性。反應堆先進的氣體輸送系統提供對初級氣體和次級氣體的精確控制，允許對過程進行微調，以提供優越的效果。反應器室由高級不銹鋼制造，配有耐火襯裏的內部射頻線圈，有助於確保塗層工藝的最大可重復性和均勻性。幾個專利的特點使得高均勻覆蓋和優秀的光學、電氣和熱性能生產的薄膜。腔室還配備了板載質量流控制器，用於精確測量壓力、流量、溫度等工藝參數。MaxBright Reactor通過自動化基板處理、板載工藝參數控制以及對基板多種特性的實時監控等先進技術提供最大的生產力和性能。先進的控制系統提供了對工藝參數的精確控制和系統的穩健運行，確保了塗層工藝的最大均勻性和可重復性。使用高級診斷程序還可以在更短的時間內對流程進行故障排除。綜上所述，VEECO MaxBright Reactor提供了一種可靠、高性能的工具，生產出厚度均勻、性能控制良好、塗層優越的薄膜。MaxBright Reactor憑借其創新技術和先進的診斷技術，非常適合於光伏電池和顯示器等一系列行業的應用，以及一般的薄膜沈積。
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