二手 VEECO Propel #293822786 待售
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ID: 293822786
晶圓大小: 12"
優質的: 2020
Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) system, 12", GaN
Equipment Front End Module (EFEM)
2020 vintage.
VEECO Propel是由先進薄膜工藝設備的領先供應商VEECO Instruments Inc.開發的一種尖端化學氣相沈積(CVD)反應器設備。推進反應堆是專門為生產用於制造動力器件、高亮度LED、RF器件的優質氮化氙(GaN)等先進半導體材料而設計的。VEECO Propel反應堆的核心是其先進的熱處理技術,它能夠精確控制半導體材料的生長過程。反應堆具有高溫高壓環境,便於沈積具有非凡均勻性和純度的薄膜。這種控制水平對於實現先進半導體器件所需的材料特性和性能特性至關重要。Propel反應堆的關鍵創新之一是其專有的氣體輸送和排氣系統,這確保了向反應室精確有效地輸送過程氣體。該單元允許對生長參數進行優化,如氣體流量、溫度和壓力,以達到一致和可重現的結果。反應堆還配備了先進的過程監測和控制能力,包括實時氣體分析和溫度剖析,以進一步增強沈積過程的控制和穩定性。VEECO Propel反應堆專為高通量生產而設計,具有較大的沈積面積和多用途的底物處理能力。該機可容納廣泛的基材尺寸和形狀,允許薄膜沈積在小型研究樣品和大型生產晶片上。反應堆還采用模塊化設計,便於定制和可擴展性,以滿足特定的工藝要求和生產量。除了先進的技術能力外,Propel反應堆還設計了用戶友好的功能,可以提高運行效率和易用性。該工具配備了一個用戶友好界面,可用於直觀的過程控制和監控,以及自動維護和清潔例程,以最大程度地減少停機時間並最大限度地提高生產率。反應堆還包括安全特性和內置診斷,以確保生產環境中的可靠和安全運行。總體而言,VEECO Propel反應堆代表了在生產環境中沈積高質量半導體材料的最先進的解決方案。其先進的熱處理技術、精確的氣體輸送資產和用戶友好的設計,使其成為尋求開發和生產性能和可靠性卓越的先進半導體器件的制造商和研究人員的理想選擇。通過利用Propel反應堆的能力,用戶可以加快推動廣泛行業創新的下一代半導體技術的開發和商業化。
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