二手 WATKINS JOHNSON WJ 999 #9216365 待售
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已售出
ID: 9216365
晶圓大小: 4"-6"
CVD System, 4"-6"
System version: WJ999 RMCS (Classic)
Main body: OLD 999
Handler: 9.3
Gas: Hydride
Base type: Silicone
Cassette:
Load: (3) Cassettes
Unload: (3) Cassettes
Process: NSG
Target thickness: > 8000Å
Transport method (WJ-999):
4" Single
5" Single
6" Single
8" Single
4" Double
5" Double
6" Double
Transport method (WJ-1000): 12"
P/P INJ
INJ Size: 12"
INJ Type: Parallel
UPS
MFC Type: Tylan
MFC Flow (999R): D1N2, SPN2, D2N2, SiH4, O2, B2H6, PH3.
WATKINS JOHNSON WJ 999是由WATKINS JOHNSON設計制造的核反應堆。它是一種研究反應堆,用於材料測試和放射性同位素生產等各種科學和工程應用。該反應堆是一個非均質、輕型水冷和中速發電廠,由兩個裝在鋼制屏蔽艙中的垂直壓力容器組成。一級和二級容器被淹沒在一個裝滿水的地下混凝土池中,用於提供額外的屏蔽和冷卻。核心由金屬形式的濃縮鈾提供燃料,這些濃縮鈾包含在一些稱為燃料元素的圓柱管組件中。為了能夠控制和調節反應堆的運行,在燃料元素和石墨減速器之間插入碳化硼和/或鎘的控制棒。已經設計了一些組件,以確保反應堆的高效和安全運行,包括循環冷卻水的主要循環設備。該系統由多個泵、熱交換器、閥門、儀表等部件組成。反應堆堆芯設計為在最佳溫度和冷卻劑條件下運行。此外,反應堆設有緊急冷卻裝置,以防溫度突然升高。根據實驗要求,反應堆設計為在穩態狀態下或作為交替模式運行。為達到理想的運行條件,反應堆控制機由安全棒、反應性反饋棒和主控制棒驅動器組合而成,全部連接到傳感器工具和控制室的控制面板上。最後,反應堆由控制室的人員監控維護。在運行過程中,不斷測量和監測溫度、流量、中子強度等參數,確保高效安全運行。控制室的人員也接受了在緊急情況下采取措施的培訓。
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