二手 WATKINS JOHNSON WJ-TEOS999 #293831160 待售
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ID: 293831160
CVD System, 6"
Type: APCVD (USG / PSG / BPSG)
Ozone generation: SUMITOMO with (4) Cells
(3) Injectors: IVA's with Monoblock
(3) Canisters: TEOS, TMB, TMP
CSR
(9) Bubblers
Belt cleaning: HF Bubbler
Temperature: 500°C
Cooling system: Water
Throttle valve: MKS with controller
Toroidal orifices: 6 x 3" with spring
Belt: Inconel
(25) Slot case
(4) Cassette
Wafer detecting
Controller: Pentium (2) PC
Gas controller: 3.89
Temp controller: 2.57
Handler: 4.47
PLC: 1.36
Gas configuration:
- / Injector#1 / Injector#2 / Injector#3
O2/O3 / MFC O2 15 SLM / MFC O2 15 SLM / MFC O2 15 SLM
D1N2 / MFC N2 6 SLM / MFC N2 6 SLM / MFC N2 6 SLM
SPN2 / MFC N2 20 SLM / MFC N2 20 SLM / MFC N2 20 SLM
D2N2 / MFC N2 3 SLM / MFC N2 3 SLM / MFC N2 3 SLM
SIH4 / MFC N2 150 SCCM / MFC N2 150 SCCM / MFC N2 150 SCCM
PH3 / MFC N2 400 SCCM / MFC N2 400 SCCM / MFC N2 400 SCCM
B2H6 / MFC N2 300 SCCM / MFC N2 300 SCCM / MFC N2 300 SCCM
DILL N2 / MFC N2 3 SLM / MFC N2 3 SLM / MFC N2 3 SLM
TEOS / MFC N2 3 SLM / MFC N2 3 SLM / MFC N2 1.5 SLM
TMP / MFC N2 500 SCCM / MFC N2 500 SCCM / MFC N2 150 SCCM
TMB / MFC N2 100 SCCM / MFC N2 100 SCCM / MFC N2 50 SCCM
Power supply: 208 VAC, 3 Phase.
WATKINS JOHNSON WJ-TEOS999是一種為商業應用而設計的高溫惰性氣冷核反應堆。它是一個固體燃料反應堆，壓力容器由不銹鋼和碳鋼制成，並設計為使用th燃料。Th是一種略帶放射性的元素，可以在核反應堆中用作燃料。與傳統的鈾基燃料相比，它具有豐富、成本低、長期放射性副產品少的優點。比鈾具有更高的能量含量，並且比傳統燃料每單位質量產生更多的能量。WATKINS JOHNSON WJ TEOS 999反應堆是一座高溫石墨緩化熱中子反應堆。在這類反應堆中，石墨減速器圍繞著燃料，增加了燃料釋放出的熱中子數量。這增加了裂變反應產生反應堆能量的機會。反應堆在900攝氏度以上運行，並被氦氣冷卻。反應堆結合了幾個安全特性，以確保安全運行。這些包括雙安全殼容器、中子吸收器和倒水棒。雙安全殼容器使得不可能將放射性釋放到環境中。中子吸收器和倒水棒允許在出現問題時控制裂變反應和緊急關閉。WJ-TEOS 999是一個可靠且具有成本效益的反應堆，已經在幾個發電廠中使用。該反應堆已獲得國際原子能機構（原子能機構）的安全認證。未來有望繼續成為核電產業的重要組成部分。
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