二手 ADE / KLA / TENCOR 8100 #9187693 待售
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單擊可縮放
已售出
ID: 9187693
晶圓大小: 4"-6"
優質的: 1986
Microscan system, 4"-6"
2 in / 4 out
Alignment station
Flatness station
High res station
ASC Controller
Accessories included
Sender elevators:
One/two senders
Deliver wafers from cassettes to the main transport belt
Prealigner:
Centers wafers on vacuum chuck
Aligns them with reference to primary flat/notch
Determines locations of up to four secondary flats
Flatness station:
Measures operator-specified portion of wafer surface
Calculates minimum, maximum, centerpoint, and average thickness
(MINTHK, MAXTHK, CTRTHK, AVETHK)
Thickness variation (TTV)
Focal plane deviation (FPD)
Total Indicator reading (TIR)
Total Indicator reading at localized areas (SITE TIR)
Percent usable area based on thickness
(THICK PUA), FPD (FPD PUA) and SITE TIR (SITE TIR PUA) sem I conductor type
Resistivity station:
Measures resistivity at one user-programmed point on the wafer surface
Receiver elevators:
One - four receivers
Transport wafers
Main transport belts to cassettes
1986 vintage.
ADE/KLA/TENCOR 8100是一款先進的固態掃描電子顯微鏡（SSEM），旨在為用戶提供各種科學和工業應用中的顯著成像優勢。ADE 8100具有獨特的技術,包括使用聚焦電子束探測的多模式發生器,以最小的樣品漂移和失真獲取多個圖像,從而以最小的偽影實現精確成像。KLA 8100由一個集成的控制系統驅動，包括一個高精度掃描顯微鏡和一個集成的數字信號處理器和放大器。該系統可實現無與倫比的成像精度和掃描吞吐量。此外,精確的運動階段和執行器使TENCOR 8100在掃描操作中達到高分辨率.為提高成像質量，8100配備了可減少抖動和噪聲的高頻輸入，以及全面的自動對準能力，以提高樣品精度。在運動控制方面,ADE/KLA/TENCOR 8100具有先進的快速掃描電機和全方位控制功能,可實現平滑、精確的掃描。其成像軟件旨在提供高標準成像質量的任意放大。此外,ADE 8100還具有一個自動化的樣品表征套件,使研究人員能夠輕松測量物理、電氣和其他材料特性。它的用戶友好界面使研究人員能夠遠程工作，並通過互聯網瀏覽器查看樣本數據。KLA 8100還擁有全面的分析機會,具有3D圖像重建和檢測性分析等功能。綜上所述,TENCOR 8100是一款功能強大的SSEM,旨在處理嚴格的數據分析和成像。其集成的控制系統、運動階段、成像軟件和自動表征套件使其成為一系列工業和科學應用的理想選擇。
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