二手 AMAT / APPLIED MATERIALS VeritySEM #9280532 待售
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單擊可縮放
ID: 9280532
晶圓大小: 8"
Automated CD metrology system, 8"
Wafer shape: SNNF (Semi Notch No Flat)
Wafer cassette: PP Miraial, 12"
No SMIF Interface
Electron optical system:
Electron gun SCHOTTKY emission source (FEI)
Accelerating voltage: 300 V - 2000 V
Prober current: Low 5pA / Medium 10pA / High 20pA
3-Stage Electromagnetic lenses
System with boosting voltage beam deflector module
Objective lens:
Scan coil 2-stages: Electromagnetic deflection (X-axis & Y-axis)
Magnification: 1,000x - 400,000x (100um - 0.25um FOV)
Wafer imaging ability entire surface, 8"
Aspect ratio: >20:1
Resolution: 2nm (500V)
Optical microscope system:
Camera monochrome: CCD Camera
Magnification: 16x / 220x (450 um / 6000 um FOV)
Wafer imaging ability entire surface, 12"
Model SGI Fuel
SECS / GEM Communication interface:
Automated image archiving function / Online setup
Measurement function: Contact hole
Line edge analysis / CH Analysis / Slope
Measurement algorithm normal / Foot / Threshold
Wafer stage:
Wafer stage Anorad XY and Z Stage
Moving speed: 300 mm/sec
Function target faraday cup / Resolution target
Wafer transfer:
Wafer shape ability notch / Orientation flat
Pre-alignment sensing by CCD BAR (200/300 mm wafer)
External power distribution unit
Fun filter unit.
AMAT/APPLIED MATERIALS VeritySEM是一種掃描電子顯微鏡（SEM）,為半導體行業的高級故障分析和工藝開發提供卓越的成像能力和精確控制。這種用途廣泛的設備為用戶提供了從高分辨率成像到光譜分析的一整套高級功能,同時為一致、準確的成像結果提供了一個穩定可靠的平臺。AMAT VeritySEM是一個可變壓力SEM系統，提供超高真空和低真空成像能力。其低真空模式允許在0.1-50 torr的廣泛壓力範圍內進行表面成像和分析，包括在惰性氣體下進行全程成像，以防止樣品充電。該裝置還采用了快速真空閥控制技術，確保了樣品室的快速可靠的清洗和調節。這種真空技術結合了對成像模式和條件的精確控制，使用戶能夠獲得對難以成像的樣本一致、準確的成像結果。除了先進的成像能力外，APPLIED MATERIALS VeritySEM還提供先進的光譜能力。其高效、自動化的樣品處理和高二次電子產率結合了廣泛的光譜分析工具，在單個組件和納米級成像的小特征尺寸中具有優異的分辨率和對比度。VeritySEM支持多種分析技術，如EDX、WDX、SEI光譜和CL分析。AMAT/APPLIED MATERIALS VeritySEM帶有一個集成的點分析控制模塊,該模塊可提供快速、自動化的樣品處理和定位,以及經過驗證的穩定性,可顯著改善具有挑戰性的樣品的信噪比。集成圖像分析機（IAS）具有強大的對比度控制和測量能力,同時具有高分辨率的成像和低噪聲,並提供無與倫比的精細成像。AMAT VeritySEM旨在實現分析結果的快速周轉,其高級功能如自動標本定位、集成點分析、高度詳細的圖像分析和自動標準驗證,可確保從各種樣本中獲得可靠和快速的結果。它是半導體行業高級故障分析和工藝開發的可靠工具,以極具競爭力的價格提供了一套功能強大的獨特功能。
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