二手 FEI Altura 835 #9350300 待售
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ID: 9350300
晶圓大小: 8"
優質的: 1998
Dual beam Focused Ion Beam (FIB) system, 8"
SEM:
S-FEG Column capable of normal FEG or SIRION FEG
Image resolution: ~3 nm
Voltage: 500 V to 30 kV
Modes:
Search mode
Ultra High Resolution (UHR) mode
Ion column:
Magnum ion column: 1pA and up to 20nA beam at 30 kV
Resolution: <7 nm at 30 kV, 1pA, 16.5 mm WD
Stage:
Automated loadlock stage, 8"
Travel: X, Y, Z, R
Tilt: - 6° to 52°
Wafer chips, 4"
Accuracy: ≤1.5 um
CDEM and TLD Detectors
(3) Gas injectors (GIS):
Platinum
Delineation etcher
IEE (XENON Diflouride etch XeF₂)
1998 vintage.
FEI Altura 835是一種掃描電子顯微鏡,能夠為多種材料和應用提供高分辨率成像。顯微鏡具有全機化的舞臺,可輕松定位樣品,在明暗模式下提供出色的圖像。這樣可以方便地從各種角度和放大倍率進行樣品檢查。Altura 835配備了電子束的自動控制,以最大限度地提高分辨率元素的數量,並確保快速一致的樣品成像。其SECtec技術是一個先進的成像平臺,可為各種應用程序提供卓越的圖像分辨率和對比度。除了先進的成像能力外,FEI Altura 835還能夠捕捉3 D圖像。這是通過高速反向散射電子束探測器完成的,該探測器為樣品的三維視圖提供斷層掃描。此外,顯微鏡還具有先進的邊緣分析工具,可用於測量樣品上的2D和3D結構並深入了解材料的特性。最後,Altura 835配備了多種有用的配套組件。其中包括用於能譜成像的功能強大的矽漂移探測器(SDD),允許用戶存儲圖像和設置的可編程軟件模塊,以及用於在超高真空環境中操作掃描電子顯微鏡的充氣Torr腔室。總體而言,FEI Altura 835是一款用途廣泛、功能強大的掃描電子顯微鏡,具有先進的成像能力。它在明暗模式下提供出色的圖像分辨率,具有自動化的樣本定位功能,並且可以使用其SECtec平臺捕獲三維圖像。此外,其支持組件如矽漂移檢測器和可編程軟件模塊使其成為廣泛應用的理想選擇。
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