二手 HITACHI CG-5000 #9389318 待售
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已售出
ID: 9389318
晶圓大小: 12"
優質的: 2015
Scanning Electron Microscopes (SEM), 12"
(3) Ports
C to C Auto loader
With Load / Lock system
Power cable (ISM): Main<->P
Electrified Sample Correction (SPM)
Auto calibration system by using stub pattern
Multi-Point / Gap / Comer radious measurement function
Image filing function
Recipe queue
TDK FOUP Opener
With RFID
EDWARDS iGX100 Dry pump interface
Signal light tower
Light curtain
X / Y Dual microscale
Energy filter
Ioniser
Edge roughness measurement
Line width roughness analysis function
Flat scan function
Maximum mag: 500K
GEM Communication interface
HSMS Communication interface
GEM 300 / HSMS / SECS
SECS Communication interface
CD Data transfer at CG5000
Measurement image upload function using FTP
FDC Function
Flexible scan function
Self alignment double pattern measurement function
Template generator function
Shield cover
EFEM Modification
VACC Modification:
Lowest: 200V
Highest: 5000V
E-Chuck stage system:
Display unit
Power supply unit:
Water circulator
With power cable
Pipe
Ion pump back-up
SE-Gun back-up
Optical Microscope: l 10x, 220x
Does not include:
Chemical filter
Pre-Dose, Optics modification HARC observation function
KRF Defect review network interface
Power supply: AC 208V, 60Hz
2015 vintage.
HITACHI CG-5000是由日本電子公司HITACHI, Ltd開發的掃描電子顯微鏡（SEM）。HITACHI CG5000機型是一款頂級臺式機SEM,以其先進的成像能力和易用性而聞名。該儀器的基本設計包括一個具有五軸電動級的高分辨率柱和一個可變壓力室。CG 5000還具有真空儀、電子槍和熱電子發射燈絲,以及高功率、可變消色差物鏡和趨勢校正驅動系統,可對SEM的成像參數進行高度精確的控制。CG-5000的核心是HITACHI T800數字信號處理器，它為儀器提供運動控制和圖像數據處理。先進的處理器和強大的電子槍相結合，即使使用苛刻的樣品材料也能實現高質量的成像。HITACHI CG 5000能夠以高分辨率產生許多不同的成像模式，如二次電子（SEs）、反向散射電子（BSEs）和陰極發光（CL）。產生的圖像可以是二維（2D）或三維（3D）格式。該系統還為更困難的成像應用提供自動增益控制。顯微鏡的性能也受到其磁透鏡和電子光學器件的推動，在提供高放大倍率的同時仍保持優秀的圖像質量。該單元可容納直徑可達50毫米的樣本量，可變壓力室為各種樣本量提供了優化條件。除了成像功能外，CG5000還具有自動粒子計數、元素映射、EDS光譜計算等高級分析工具。這有助於大大減少從樣本分析中生成有用數據所需的時間。總體而言，HITACHI CG-5000是一種功能強大且用途廣泛的掃描電子顯微鏡。它結合了先進的硬件和軟件、易用性和高分辨率,是許多不同類型分析的絕佳選擇。
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