二手 HITACHI S-7800H #9120137 待售
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ID: 9120137
CD SEM inspection system, 8"
Manual wafer loading
Resolution: 5nm at 1kv
Reproducible Precision of Measurement: Static 3 Sigma 0.010um
Reproducible Precision of Positioning: X & Y Stage within +/- 15um
Precision of the Stage Rotation: X & Y within +/- 60um
Pre-alignment of Stage: X & Y +/- 15um
Throughput: 5 Wafers/Hour
Oxford INCAx-Sight EDX
Stage Movable Range:
X: 0 ~ 200mm
Y: 0 ~ 200mm
Z: 4 ~ 12mm
R: 0 ~ 360° T: 0 ~ 60°
Vacuum Pumps
Chiller
Transformer
Operations Manual and Documentation.
HITACHI S-7800H是一種高分辨率、掃描電子顯微鏡(SEM),能夠執行多種成像技術。它擁有一個大的標本室,能夠觀察和分析更大的樣本。其電子系統附帶一個集成的圖像處理單元,用於數據的自動操作,可以作為數字信號輸出。HITACHI S-7800 H具有廣泛的應用,從成像到元素分析與能量色散X射線光譜(EDS)級串聯使用。顯微鏡有三種電子槍系統:冷場發射槍(CFEG)、場發射槍(FEG)和熱電子場發射槍(TFEG)。CFEG具有高亮度和低加速電壓導致高分辨率圖像。FEG的分辨率較低。熱電子發射槍在高加速電壓下提供高分辨率成像,具有一定的0.7-30kV範圍。S-7800H是一種可變壓力SEM,能夠在1到600 Pa之間運行,這樣可以觀察和分析有機材料、陶瓷和導電材料等多種樣品類型,從而實現多種成像技術。顯微鏡支持與原色(SE(次級電子)、BE(反向散射電子)和CL(陰極發光))和一個次級(BSE(反向散射電子))同時照明,允許多層分析和成像。該工具還提供了廣泛的自動化操作,包括順序成像、對比度增強和數字合並。S-7800 H具有支持X、Y、Z運動、可調焦點和傾斜的電動級,允許自動順序成像。舞臺有很大的精確采樣面積,能夠在X軸和Y軸各移動75毫米。在系統特性方面,HITACHI S-7800H擁有用戶友好的觸摸屏液晶界面,允許用戶輸入文本變量,以及提供視覺讀出。顯微鏡還帶有數據處理單元,允許用戶直接操縱圖像數據,以及將數據輸出為數字信號。總體而言,HITACHI S-7800 H是一款用途極為廣泛的SEM,能夠提供多種成像技術和自動化操作。它具有高分辨率的成像,並且能夠改變壓力和自動成像。此外,用戶友好的界面使得它特別容易使用和導航。所有這些功能結合在一起,使S-7800H比競爭產品更具優勢。
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