二手 HITACHI S-8820 #9189515 待售
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已售出
ID: 9189515
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM), 8"
V Notch and flat edge type
Cassette: (2) Ports
Robot & pri-aligner: MECS UTC-100, OF-250
Gun tip type: Denka 174DH (Exchanged new)
Image resolution: 5 nm (800V)
Accelerating voltage: 500V to 1300V (10V Step)
Electron optic system: Retarding methode
Measure repeatablity:
(3) Sigma: 1% / 5 nano
CD Measurement range: 0.1~10 micro
Throughput: 25" Wafer/Hour, (5) points
Magnification:
OM Mode: 100x
SEM Mode: 300x ~ 200, 000x
EWS:
HP B132 / HP B180 With LCD type monitor
Vacuum system:
(3) Ion pumps
(2) Turbo pumps
Stage system: X-Y 200mm Plus motor driving
Dimensions:
Main body: 1,170W x 1,890D x 1,650H mm
Controller: 600W x 1331D x 1800H mm
Power unit: 535W x 600D x 1500H mm
Options:
(2) Rotary pumps
(2) Dry pumps
Does not include Dry pump
1997 vintage.
HITACHI S-8820是一種先進的掃描電子顯微鏡（SEM）.該儀器可用於半導體評估、故障分析、生命科學研究等多種應用。HITACHI S 8820提供了廣泛的功能，為研究人員提供高分辨率、高靈敏度和出色的圖像穩定性。它利用場發射源，使其能夠產生具有卓越分辨率的圖像。各種冷凝器透鏡提供了增強的信噪比，並允許更大的圖像分辨率。這種顯微鏡擴大的可探測信號範圍也使其具有巨大的動態範圍，並允許觀察微弱的信號，以及傳遞更明亮的整體信號。它還具有先進的電子束控制算法和出色的定位精度，具有穩定和可重復的成像性能。它具有高速加速電壓範圍，允許觀察樣品上的氧化等動態現象。有了它的大樣本室，S-8820可以容納大的樣品直徑，允許更詳盡的分析。S 8820還提供出色的數據分析功能。它具有廣泛的功能，可以通過數字信號處理來控制，例如圖像的減法和加法。此外，計算機控制的舞臺和光束掃描可以方便地測量深度剖面，這進一步有助於包括一個機動聚焦系統。可以設置和調整自動聚焦特征，以匹配樣品表面，優化圖像和測量結果。總體而言，HITACHI S-8820是一種極好的掃描電子顯微鏡，可以為研究人員提供對樣品的清晰和詳細的了解。其現場排放源、電動聚焦系統和強大的數據分析能力使其能夠提供準確和高分辨率的成像性能。
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