二手 HITACHI S-9300 #9169651 待售
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已售出
ID: 9169651
晶圓大小: 8"
CD Scanning electron microscope (CDSEM), 8"
Electron optical system:
Electron gun: Schottky emission source
Accelerating voltage: 500 V to 1600 V, 10V Steps
Probe current: 4~24pA
With automated setting and measurement by Faraday cup
Electromagnetic lens: (3) Stages
System with boosting voltage
Objective lens:
(4) Opening click stops
Heated aperture
Scan coil: (2) Stages electromagnetic deflection
Astigmatism correction via an 8-pole electromagnetic coil
Magnification: 1000x to >300000x
Field control method: Sample de-charging
Wafer imaging ability: Entire surface of 8” (or 12”) wafer
Depth of focus: >= 1.0um at 80000x magnification
Resolution: 3 nm (800V) Retarding / Boosting mode
HITACHI Probe tip
Optical microscope system:
Monochrome image, using CCD camera
Magnification: 110x
Wafer imaging:
X Coverage: 5-295 mm
Y Coverage: 5-195 mm
Notch down
Field of view: 1.2 mm
Workstation:
Model: HP B180L (9GB)
O/S: Unix version HP-UX 10.20
Software version: 14.71
SECS/GEM Communication interface
Dual XY HITACHI microscale
DSP Image processing
BSE Mode functionality
Multipoint measurement function
Edge roughness function
Automated image archiving function
Others:
(2) 200 mm Wafer handling systems
Cassette holders / Ergo flippers
Convertible to 300mm with conversion kit BRK-287006300
Currently crated and warehouse.
HITACHI S-9300是一種掃描電子顯微鏡（SEM），用於觀察和分析各種樣品的結構。這種特殊的SEM是可變壓力（VP）設備，允許使用者控制電子束的壓力，允許觀察和分析微小的粒子和結構。HITACHI S9300利用5通道視頻端口快速捕獲圖像,允許實時放大屏幕放大到500,000X。該設備還具有高級圖像處理軟件,可實現各種圖像增強功能,如標記、調整對比度、伽馬校正和無限制的綁定功能。S 9300利用場發射電子槍作為其來源，允許一個幹凈的電子束被發送到樣品。這把槍由高品位的鎢材製成，在標準和高分辨率的設定下都能提供約16納米的分辨率。S-9300的高精度點尺寸由其15軸運動控制系統維持。此運動控制單元可實現銳利而精確的運動,從而實現邊緣到邊緣的成像。另外，這臺機器還能防止電子束的任何機械散焦，因此微小粒子的圖像可以在不失真的情況下渲染。S9300具有獲得專利的光學工具,可提供強大的照明和成像功能。這一光學資產包括一個5鏡頭物鏡柱和一個5鏡頭投影儀柱，兩者均由低摩擦、精密級玻璃制成，以確保圖像和樣品的最高清晰度。HITACHI S 9300的另一個特點是高級控制表面。這款8.4英寸液晶彩色顯示屏使用戶能夠快速訪問易於理解的屏幕菜單,並提供各種自定義選項。除上述特性外，HITACHI S-9300還能夠用多種方法分析樣品，如能量色散X射線光譜和電子反向散射衍射。此外，HITACHI S9300還獲得了在潔凈室中運行的認證，使這種設備非常適合用於半導體器件的制造和分析。總之，S 9300是一種高效、通用的掃描電子顯微鏡，為各種應用提供先進的功能和先進的硬件。憑借其高精度光學、精密的運動控制模型和實時圖像捕獲功能,S-9300提供了觀察和分析微小粒子和結構的理想平臺。
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