二手 HITACHI WB-3100 #9256081 待售

製造商
HITACHI
模型
WB-3100
ID: 9256081
Wafer bump inspection system.
HITACHI WB-3100是掃描電子顯微鏡(SEM)的一種,利用電子柱來製作標本的影像。其柱上裝有幾個探測器,如二次電子探測器、反向散射電子探測器和能量色散X射線探測器。這款SEM具有0.2到30kV的工作電壓,以及帶有偏振膜片的線圈形電子槍。它使用一對磁性透鏡將電子束聚焦到樣品上。還采用了自動水平檢測器,實現精確聚焦定位。儀器觀測場寬達124mm x 86mm。它還提供了各種各樣的放大倍率,從20倍到1600倍左右不等。借助野外發射槍,以穩定的光束電流實現更快的成像。它配備了一個創新的數碼相機設備,配備了高達一千萬像素的相機。這有助於以更好的分辨率和色彩精度來捕捉圖像。相機系統還具有圖像內存功能,可將圖像存儲在內部內存中。顯微鏡具有高速、高精度的控制單元,以優化的步長和電子束角度實現平滑掃描。還實現了自動對齊機,可以精確調節45到60度之間的傾斜角。WB-3100完全方便用戶,具有交互式和全面的操作屏幕。它還提供了廣泛的功能,如自動自校準和維護周期、缺陷檢測模式、試樣傾斜功能以及多種預編程操作模式。儀器還配備了EDS(能量色散X射線光譜儀)進行元素分析。它有一個低噪聲檢測器,使儀器能夠檢測到微量的元素。最後,顯微鏡還配有隔振臺,大大降低了儀器對振動的吸收,從而保證了光滑成像。
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