二手 KLA / TENCOR 8100 #188124 待售

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製造商
KLA / TENCOR
模型
8100
ID: 188124
CD SEM Version: 125-200 MM Resolution 3.4 to 3.6 nm at 600v Pipeline mode better than 90 wph, 3 sigma on 0.3 um line=0.3, Loadable wafer size 4.5 inch, 125 mm, 200 mm Operating system V7.6,8100 sw version 2.3.2 Stage precision 1.4 um in x and 1.6 um in Y Column Vacuum 1.5 x 10-7 Torr Chamber vac. 1.8 X 10-7 Torr Missing Metrofocus 1998 vintage.
KLA/TENCOR 8100是一種先進的掃描電子顯微鏡(SEM),為科學家所需的最高成像分辨率和多功能性提供最佳性能。它能夠為廣泛的研究和產品開發應用程序提供最大的靈活性和控制。KLA 8100的核心設備包括一個電子柱、一個大功率電子源以及一套數字圖像檢測和處理系統。電子柱作為顯微鏡的光學和成像子系統,包含兩個透鏡:一個物鏡和一個半apochromat透鏡。這些透鏡被設計成將電子聚焦在被檢查樣品的一個區域上。物鏡還包含一個光圈來選擇鏡頭的放大範圍。電子源分為兩個模塊:一個離子槍,以提供高能電子源,和燈絲加熱機制。離子槍利用氣體射流產生高能電子束,聚焦在樣品上的特定點上。燈絲加熱機制控制電子的能量,穩定圖像對比度。這使得TENCOR 8100能夠獲得具有出色對比度和分辨率的精確圖像。8100還配備了數字成像檢測系統,以各種放大倍數捕獲和處理樣品圖像。它使用三個通道(基本通道、中間通道和高級通道)的組合來捕獲圖像。基本通道設計用於一般成像應用,用於執行低分辨率線路掃描的中間通道,以及用於捕獲高分辨率圖像的高級通道。KLA/TENCOR 8100還具有降噪單元,其中使用了一系列高速計算機算法來降低獲取圖像中的噪聲。這臺機器有助於保持圖像清晰度,並提高使用KLA 8100進行的觀測的圖像質量。此外,TENCOR 8100具有可變壓力操作,允許用戶使用通常需要在大氣壓下觀測的樣品。這意味著8100可用於在更接近其自然操作條件的環境中觀察樣品。總體而言,KLA/TENCOR 8100是一種高級SEM工具,可提供頂級映像性能和多功能性。它具有高分辨率成像功能、可變壓力操作和降噪資產,非常適合廣泛的研究和產品開發應用。
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