二手 KLA / TENCOR 8100 #9292623 待售
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ID: 9292623
晶圓大小: 4"
優質的: 1998
Critical Dimension Scanning Electron Microscopes (CD-SEM), 4"
Resolution: <4.5 nm
Electron source: Schottky, Thermal field emitter
Magnification: 2.34,000x - 400,000x
Stage: X-Y Leadscrew stage
Position accuracy: < 10 micron
Accelerating voltage: 0.4 kV - 1.5 kV
Throughput: Up to 40 wafers/hr
1998 vintage.
KLA/TENCOR 8100是一種先進的掃描電子顯微鏡(SEM),提供該領域最先進的技術。它是新一代高端SEM,旨在提高易用性,同時為研究和工業應用提供卓越的性能。KLA 8100具有廣泛的特性和功能,使其成為科學家和研究人員的寶貴工具。它具有用於高吞吐量成像的自動化平臺,允許用戶從各種樣本中快速收集數據。它也有一個優秀的能量色散X射線(EDX)設備,可以用於樣品表面的元素分析。這使用戶能夠準確確定他們正在研究的樣本的組成。TENCOR 8100利用了一個新的數字成像系統,稱為數字成像立體(DIS)。這個單元包含了數碼相機、步進電機和舞臺掃描機構,允許高速掃描和非常精確的位置控制。DIS允許對樣品表面的精細特征進行詳細的視覺檢查。8100配備了完全自動化的樣本處理功能,允許在沒有用戶幹預的情況下完成不同的任務。有了板載標本操縱機,用戶可以快速方便地附著、移動、傾斜、旋轉樣品,以便從不同角度進行掃描。這樣就可以對樣品進行完整的3D成像和分析。KLA/TENCOR 8100還具有一系列的環境控制特性,意味著它可以用於多種環境條件。它具有水泵、蒸發器和濕度感測技術,以便能夠精確測量它正在工作的環境。這使用戶能夠微調該工具以實現更精確的成像和分析。總體而言,KLA 8100是一種最先進的掃描電子顯微鏡,具有許多有利於研究和工業應用的功能。對於那些需要極其精確的成像和分析資產的人來說,這是一個極好的選擇。
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