二手 KLA / TENCOR 8100XP #9225281 待售

ID: 9225281
晶圓大小: 8"
優質的: 2000
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM), 8" Load ports: ASYST-3LP Standard chuck Etch module Copper process CE Marked 2000 vintage.
KLA/TENCOR 8100XP是一種掃描電子顯微鏡(SEM),旨在提供高達納米級分辨率的表面高分辨率圖像。設備配有超檢測器和鏡頭內檢測器,以最大化分辨率。系統在二次電子模式下的分辨率可以達到2.0納米,反向散射電子的分辨率可以達到4.0納米。KLA 8100XP具有SampleID階段,它是一種可靠且先進的樣本分級和映射技術。它能夠掃描200 mm區域、Z軸移動、傾斜能力和自動對焦。TENCOR 8100 XP具有一個成像單元,旨在捕獲高分辨率圖像,包括二次電子和反向散射電子。該機還包括一個EDS工具的能量色散光譜。這種裝置可以用來幫助區分基於元素的材料和表征表面的化學成分。此外,8100 XP還具有集成的可變壓力SEM,可在各種壓力下進行分析,以及用於分析絕緣材料和有機材料的低真空選項。KLA/TENCOR 8100 XP的光學資產具有鏡頭內探測器和環形探測器,可實現一致的高分辨率成像。該型號的8英寸方形真空室可以方便地容納更大的樣本量。它配備了自動對焦和自動汙名功能,為成像提供了穩定的基線。設備由基於Windows的軟件平臺驅動操作,具有廣泛的圖像處理功能。KLA 8100 XP是一種可靠且高度精確的掃描電子顯微鏡,允許用戶以納米級分辨率捕捉圖像。其集成的樣品分期技術和獨特的成像能力為研究人員和工程師提供了調查和繪制各種不同材料表面的組成和結構所需的工具。該系統非常適合於高分辨率的納米級材料分析和成像。
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