二手 KLA / TENCOR 8100XP #9225706 待售

ID: 9225706
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM), 8" Load ports: ASYST-3LP Standard chuck Etch module Copper process CE Marked 1996 vintage.
KLA/TENCOR 8100XP是為半導體工業中最苛刻的計量應用而設計的臨界維度(CD)掃描電子顯微鏡(SEM)。它配備了業界領先的CD測量分辨率和優越的圖像質量。KLA 8100XP提供了一系列特性和功能,使其成為最重要的高分辨率成像儀器之一。TENCOR 8100 XP配備了高分辨率的Everhart-Thornley二次電子探測器,使用戶可以捕捉到對比度和清晰度都很高的小尺度特征最詳細的圖像。SEM具有高性能的Hamilton電動偏轉器系統和先進的導航探頭,這兩者都使光束的精確放置能夠確保無缺陷的樣品。該儀器提供基於硬件的模式識別算法,能夠快速準確地對掃描樣本上的特征進行註釋。KLA 8100 XP還具有「蒙特卡洛」粒子模擬器。這種獨特的技術可以模擬和預測梁是如何被樣品上的小尺度特征偏轉、散射和吸收的。這允許用戶優化參數以提高圖像質量。SEM還提供了許多其他功能來提高工作流效率和樣本準確性。「SmartSmart Point」功能使用戶能夠快速準確地測量小型功能,而無需復雜的校準。它還具有一個「點計數」功能,可以方便地測量小粒徑缺陷,以及一個「結轉」功能,可以分析同一樣本上的不同模式。KLA/TENCOR 8100 XP用戶友好、易於維護和高度自動化,非常適合要求極高的半導體計量環境。它提供了無與倫比的可靠性,即使在最不利的條件下也能保持運行。8100 XP是任何半導體計量應用的可靠而強大的工具。
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