二手 KLA / TENCOR 8250 XPT #293820567 待售
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ID: 293820567
晶圓大小: 4"-6"
優質的: 2001
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM), 4"-6"
Wafer handler
Robot
(3) Loaders
Pre-aligner
SEMI Equipment Communications Standard / Generic Equipment Model (SECS/GEM) interface
Vacuum system
2001 vintage.
KLA/TENCOR 8250 XPT是下一代掃描電子顯微鏡(SEM),設計用於材料和器件的原子級表征,用於許多領域的研發,包括半導體器件制造、納米技術和材料計量。KLA 8250 XPT建有真空設施,可讓顯微鏡操作到低至0.1 Pa的壓力,允許最高分辨率的成像能力。它還配備了全自動樣品制備室和快速樣品交換系統,使快速準確地準備樣品進行分析成為可能。TENCOR 8250XPT采用5軸級,帶有多軸測角儀和二級平面級,可在不妨礙檢測小缺陷的情況下檢查不同類型的樣品。這個階段結合了一個高精度的自動對焦系統,使用四個獨立的圖像感測探針來精確地找到任何給定樣本的最佳聚焦水平。顯微鏡配備了一系列電子槍配置,從可變斑點大小的電子槍到可變腔軸槍。這樣可以確保每個成像應用都采用適當的光束光斑尺寸和能量。KLA 8250XPT還利用改進的閃爍體配置來生成低光束和高光束電流模式下的高分辨率圖像。8250 XPT有一個名為尤裏卡的控制軟件平臺。此軟件提供了高級功能,如集成的自動缺陷審查、叠加、橫截面場分析、電子反向散射衍射、模式識別和自動模式對準-所有這些功能使用戶能夠最大限度地提高數據采集效率和準確性。此外,TENCOR 8250 XPT還有一個集成用戶控制臺,它提供了直觀的界面,使操作員能夠捕捉和分析掃描電子圖像。這使用戶能夠快速、方便地訪問顯微鏡的所有功能,也為他們提供各種數據處理和分析功能。總體而言,KLA/TENCOR 8250XPT是一種最先進的掃描電子顯微鏡,為半導體器件和材料的表征提供了卓越的性能和精度。廣泛的電子槍和閃爍體配置、靈活的舞臺系統和全面的用戶界面相結合,使8250XPT成為多個領域研發的強大而通用的工具。
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