二手 NGR 3520 #9313577 待售
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ID: 9313577
晶圓大小: 8"-12"
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM), 8"-12"
Maximum field of view: 70 x 70 um
Minimum pixel size: 1 nm.
NGR 3520是一種掃描電子顯微鏡(SEM),專門為從微米到納米水平成像樣品表面而設計。它配備了一個20kV肖特基場發射電子源,一個正交樣品持有者和一個全數字成像系統,用於高精度、高分辨率的操作。3520的電子槍是一種點源,位於燈殼中部附近。這保證了高能量的電子的高產率和非常短的距離槍和樣品之間被掃描。視野約為5-20mm,而槍與樣品的總工作距離可調至10mm,以適應各種樣本量和形狀。這樣可以實現廣泛的放大和操作條件。NGR 3520的物鏡是一種傾斜的高角度肖特基場發射冷凝器。這種設計允許廣泛的工作距離,以適應各種樣本量和形狀。內置的標本架允許各方向精確的樣本導航和定位,精度為5弧秒。3520的成像系統由消光槍和電子側向偏轉器以及倍頻檢測系統組成。消光槍控制電子束,使其能夠精確準確地聚焦,橫向偏轉器對圖像路徑中電子點的任何失真或漂移進行補償。這就產生了一個清晰而清晰的圖像,適用於表面分析和成像。當使用NGR 3520時,可以在SEM和反向散射電子成像中以高分辨率分析樣品。這樣可以準確地成像樣品的表面特征和組成信息。另外,電子源可以用來刺激二次電子的產生,以可視化表面地形。3520的可控環境條件可用於表征對濕度和氣體等外部因素敏感的樣品。該儀器還能夠進行低溫調查,在低至-172°C的溫度下提供高分辨率成像。綜上所述,NGR 3520是一款功能強大的掃描電子顯微鏡,提供高分辨率圖像、精密樣品導航、可調工作距離和環境控制功能。適用於需要在宏觀和微觀尺度上對表面特征和組成進行詳細或定量分析的多種研究應用。
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