二手 TOSHIBA / NUFLARE EBM-3500 #293817976 待售
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ID: 293817976
Electron beam lithography system
Covers
Input/Output (I/O) arm
Remote Monitoring System (RMS)
Extra High Voltage (EHV) cabinet
Automatic Lens Control (ALC) cabinet
Analog Control Processor (ACP) cabinet
Vacuum & Alignment Logic (VAL) cabinet
Electron Optical Controller (EOC) cabinet
Data Path Writer (DPW) cabinet
Motion & Alignment Control (MAC) cabinet
Pattern Data Formatter (PDF) cabinet
PRX cabinet
Power Control Unit (PCU)
Transformer Rectifier Unit (TRU)
Chiller
Environmental Warning System (EWS)
(3) Dry pumps
Orion
(6) Exhaust covers
(8) Sub‑controller boxes (SUB), AMP boxes
Cables
Standard Mechanical Interface (SMIF) loader.
TOSHIBA/NUFLARE EBM-3500是一種掃描電子顯微鏡（SEM），提供二次電子成像、反向散射電子成像和能量色散X射線光譜（EDS）等技術。SEM擁有高達25mm的大視場（FOV）和能達到1.0 nm分辨率的高質量成像儀。其EDS系統為X射線映射和元素分析提供了高的光譜分辨率和準確性。SEM配備了冷場發射槍（CFEG），允許近束電流成像、高分辨率成像和低陰極損傷。高質量的掃描電子光學器件設計為最大限度地減少散光和昏迷，同時還提供了較大的景深和廣泛的工作距離。SEM配備了多種控制和分析軟件包，為用戶提供了一套全面的功能。這些軟件包提供自動圖像縫合、圖像銳化和光譜圖繪制等功能。TOSHIBA EBM-3500還配備了晶圓處理程序,可自動交換基板。該系統支持高達150毫米、200毫米和300毫米的晶片,這些晶片可以以高達20毫秒/像素的速度進行掃描。SEM包括一個帶創新樣板陽臺的樣板室，方便出入和操作。它能夠在-20°C至15°C的溫度下運行。NUFLARE EBM-3500具有升級的計算機系統、用戶友好界面和打印驅動程序。它設計為易於使用和維護。EBM-3500掃描電子顯微鏡是一種功能強大、用途廣泛的工具，旨在實現材料科學、納米技術、半導體制造、冶金等許多領域的科學探索和知識。它結合了精確的成像能力、元素識別和易於操作等特點,使其成為研究、行業和教育目的的理想選擇。
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