二手 DISCO DAD 681 #9294714 待售
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DISCO DAD 681是一款為半導體晶圓加工業設計的塗抹/切割設備。該系統能夠支持廣泛的晶圓處理需求,包括芯片級劃線和對齊操作,以及精密切片操作。DISCO DAD681單元的設計是通過結合強大的運動控制器、高精度的光學器件和精確的機器人手臂,提供一個高度精確、可重復的過程。機器建在堅固的底座上,各種晶圓尺寸的高度可變調整;具有精確的多軸機器人手臂;並由定制設計的運動控制器提供動力,該控制器最多具有四個運動軸。運動控制器能夠提供高速、高精度的定位和軌跡控制,而激光同步單元則通過提供連續的反饋回路幫助確保大批量的一致結果。此外,機械臂還具有軟件控制的晶圓對齊功能,可以更精確地放置標記和骰子。在劃線操作中,該工具采用了紅外激光器,該激光器可精確控制,功率可調,光斑尺寸為直徑從1 µm到1.1 mm不等,產生高精度的高細節標記。激光安裝在DAD 681機器人上,由運動控制器自動化,允許靈活參數和精密控制劃線操作。該資產還適用於超精細精密切割操作,這是使用模型的板載燃氣消融引擎實現的。發動機包括兩個磁頭:一個用於產生光束,另一個用於將光束聚焦到材料上,以確保盡可能高的精度。通過DAD 681的CCD攝像機和快速成像軟件實現了切割過程的自動化,能夠檢測和識別芯片,並對切割操作進行相應的精確編程。DISCO DAD 681設備易於使用,並帶有用戶友好的GUI,可用於系統的設置和編程。利用所有這些功能,DISCO DAD681提供了可靠、準確的晶圓處理操作,該操作具有很高的可重復性,並具有很高的吞吐量和產量。
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