二手 DISCO DFD 6340 #9279161 待售
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已售出
ID: 9279161
晶圓大小: 8"
優質的: 2003
Dicing saw, 8"
Work piece size: Φ8
X-axis:
Cutting range: 210 mm
Cutting speed: 0.1 - 600 mm/sec
Y1-Y2 axis:
Index step: 0.0001 mm
Index positioning accuracy: 0.003/210 mm (Single error 0.002/5)
Z-axis:
Max stroke: 19.22 (For Φ2" blade) / 19.9 (For Φ3" blade)
Moving: 0.00005 mm
Repeatability accuracy: 0.001 mm
Θ-axis:
Max rotating angle: 360°
Spindle:
Torque N.m:
0.19 (1.2 kW)
0.29 (1.8 kW)
0.7 (2.2 kW)
Revolution speed range: 6,000 - 60,000 min^-1 / 3,000 - 30,000 min^-1
2003 vintage.
DISCO DFD 6340是由精密半導體晶圓加工設備的領先供應商DISCO Corporation製造的高性能劃線/切割設備。該系統設計用於處理直徑300 mm的晶片，厚度可達0.3mm，晶片夾緊力為20 kN。DISCO DFD6340的基本目的是為半導體制造過程準確地表示劃線、正方形和其他復雜的圖樣，以創建尺寸均勻的切丁芯片。該裝置配有三軸移動級，能夠定位晶片，精度為+/-2 µm。其主要部件包括高功率紫外線激光器、電信中心變焦顯微鏡成像機、控制工具和計算機接口。紫外線激光器是一種可調CO2-Type，波長為10.6 µm，能夠產生高達300W的波束功率。它還具有產生高達250 µm的光束直徑的能力，足以對小尺寸的劃線和骰子芯片進行劃線。光學資產包括高放大倍率的遠心變焦顯微鏡、自動顯微鏡水平控制和6軸自動對焦模型。其主要功能是提供清晰實時的抄寫員線條圖像，以保證其準確性。控制設備基於C+語言，允許用戶編程復雜的模式和序列。計算機界面還為用戶提供了完整的系統控制和參數調整。集成軟件允許用戶執行單元監控、自動參數更新等功能。總體而言,DFD 6340是一種高效、精確的劃線/切割機器,可提供高質量、一致的結果。它能夠處理多種模式和類型的骰子，適合各種半導體制造工藝的需要。
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