二手 DISCO DFD 6360 #293606550 待售
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DISCO DFD 6360劃線/切片設備是一種精密系統,設計用於對半導體芯片等易碎基板進行劃線和劃線。該單元由旋轉臺、激光源、激光光學器件、XY軸、聚焦光學器件和自動對準配件組成。機臺為直徑10英寸的鋁板,采用帶有直流電機和機械制動器的滾珠螺桿驅動工具進行精確定位。旋轉表最多可容納四個基板,並且可以使用步驟增量以1度增量索引。旋轉臺的轉速可以精確控制在0到100 rpm之間,制動器可以設置為保持位置,壓力高達20N (2kg)。該資產由頻率倍增的Nd: YAG激光器提供動力,能夠每脈沖產生35mJ。該激光器與同步脈沖發生器、光學拾音器和定制光學器件集成在一起,可實現高精度切割。激光光學器件包括可調節焦距鏡頭(f=50mm和100mm),焦距可達9英寸,激光光斑尺寸可達300 um。XY級具有精確的高速定位能力,並配有集成顯微鏡模型。XY級具有正交驅動軸和帶有位置編碼器的直流電動機,以確保對舞臺運動的精確控制。XY級的微度量分辨率在X軸上等於4um,在Y軸上等於4um,允許切割時具有很高的精度。自動對準設備可以作為一個集體單元獨立調整,也可以根據應用程序手動操作。對準系統由激光和引導投影儀組成,可以將基準標記和目標投射到基板上。自動對準裝置與激光和XY級連接,確保切口的精度。整體的DISCO DFD6360機是一個高性能和可靠的塗抹和切割工具,具有許多獨特的特點。它非常適合各種基材的廣泛塗抹和切割應用。通過使用質量力學、激光光學、XY定位和自動對準模型確保資產的精確度,這增加了設備的準確性和可重復性。
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