二手 DISCO DFD 640 #9266371 待售

DISCO DFD 640是一款由DISCO Corporation設計，專為半導體和器件制造的專業工業用途而設計的塗抹/切割設備。該系統由三個主要組件組成-一個基板支架、一個劃線頭和一個運動控制單元-每個組件都集成在6軸布局中。基板支架采集最多8 「x 8」的樣品，然後通過氣墊單元將其固定在支架上。這種緩沖機通過支架產生真空，有助於將熱膨脹效果降至最低。這樣可以確保對每個樣品進行準確的測量。劃線頭是以UV激光為光源的高分辨率X-Y單點掃描資產的工具核心。這種激光器每軸分辨率高達1 µm，在劃線雙面圖案時提供無懈可擊的精度。為提高精度,劃線頭還采用了自動特征識別（AFR）模型,該模型可根據樣品輪廓自動調整激光位置。運動控制單元負責在基板表面的精確移動。它配備了一個精密電機編碼器和一個微步進驅動器，從而產生詳細的，精確的模式劃線。該單元還使設備能夠沿著X-Y-Z軸移動，速度高達8 m/s。該系統還附帶集成軟件，允許與二維蒙版編輯器結合使用，用於控制劃線操作。此外，單元中嵌入式過程控制軟件允許它在處理後提供對劃線模式的詳細檢查和分析。總體而言,DISCO DFD640是一個功能強大的機器,具有高速度、準確性和可靠性.它既適用於批量生產，又適用於小批量塗抹和切割，是半導體工業制造的有利工具。