二手 DISCO DFD 640 #9279499 待售
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DISCO DFD 640是一款專為半導體行業而設計的專業級劃線/切割設備。系統由一個可以水平移動晶片的自動化U型框架(或XY)級和一個垂直級懸掛組成,用於在劃線時保持晶片。采用精密控制器控制晶片級的運動,為劃線提供精確的精細定位。為了使晶片做好劃線準備,設備配備了邊緣剖面儀,用於檢測晶片邊緣的形狀和粗糙度,並為機器定位器提供數據以準確定位劃線。附加附件允許手動將對齊標記放置在工具用來定位抄寫員矢量的晶圓上。實際的劃線由激光劃線器執行。柔性控制櫃允許精確調整劃線梁。Scriber配備了四個波長(綠色(532 nm)和紫羅蘭色(410 nm)激光器,以及650 nm二極管激光器和光纖激光器設置為從100mW到200mW的不同輸出功率。DISCO DFD640還能夠執行切塊操作。水冷主軸用於驅動兩個或四個電動機,這些電動機為金剛石邊緣刀片供電,而金剛石邊緣刀片是切碎晶圓的工具。主軸的z軸可針對可變切割深度自動調整。該資產還具有一個監控模型,該模型旨在檢測劃線和切割周期中的任何偏差。它可以隨時檢測這些偏差,並向操作員提供數據,以防止進一步的損壞。這些技術的結合使得DFD 640能提供高度精確的劃線和切片操作,同時仍能提供最大效率。該設備還與多種材料兼容,使得它可以在許多不同的晶圓加工應用中使用。DFD640是尋求可靠、準確、經濟高效的劃線和切割解決方案的公司的理想選擇。
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