二手 DISCO DFD 640 #9384372 待售

DISCO DFD 640是一款由專門從事半導體制造設備的日本公司DISCO Corporation開發的塗抹/切割設備。該系統結合了晶片切片技術和稱為「DFD」（離散精密切片）的創新工藝，將晶片和基板實現高精度切片為單個模具或粗糙零件。該裝置能夠切割高達95um的矽、200 mm晶片和直徑達300 mm的基板。這臺機器配備了一個獨特的鉆石切割刀片，這是高效的，需要最低限度的維護。這種刀片使用磨料金剛石邊緣為每個晶片塗上鋒利、幹凈的切口，然後是第二個金剛石切割刀片，將晶片分解成單獨的模具。該工具還裝有一個雙面粘合劑，它允許基板與切塊刀片粘合，以便於刀片移動，並允許均勻切塊。該模型是為高精度和高速而設計的。通過優化的金剛石剪刀和控制脈沖寬度和脈沖速率的反饋監測器，提高了切割性能。該設備采用EPC控制單元，可以控制切割頭的x、y和z軸。EPC控制器還監視切割過程的速度和扭矩,並在其中任何參數超過預定值時發出警告。除了它的切割能力外，系統還提供了使用高精度、自動化的3軸研磨單元對齊和研磨兼容基板的能力。這有助於確保切割過程的準確性，因為它減少了由於基板的任何未對準而可能造成的任何影響。磨削單元還提供了靈活性，允許在各種厚度的基板上操作。DISCO DFD640提供了多種功能和好處,以方便切割過程。它具有高精度和高速的能力,同時還能切割高達95 um的矽、200 mm晶片和直徑達300 mm的基板,這使其成為半導體制造商的首選。此外，它的自動研磨單元和EPC控制單元確保單元提供高精度切片的各種基材。