二手 DISCO DFD 651 #9196088 待售
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DISCO DFD 651是一款由DISCO Hi-Tec, Inc.開發的劃線和切割設備。它以公司革命性的「抄寫技術」為基礎,已經使用了20多年。該設備利用多個組件來實現其提供的高精度劃線和切割性能。該系統由包含實際劃線工具的「頭」、數控端效應器/晶圓級、視頻檢查和全尺寸劃線器底座組成。高速劃線頭裝有激光束和兩個激光探測器、三個金剛石劃線工具、兩個刀片、兩個訂書機頭。兩把刀片最多可切割50微米,而三把鉆石劃線工具則能劃出3微米寬的線條。數控端效應器/晶圓級裝有x軸定位表,由可程式邏輯控制器(PLC)控制。此階段允許劃線頭沿著劃線軌跡移動,同時將底物保持在適當位置。此外,該階段可以編程,使各種切口上的圖樣和/或隨機沈積的基板,這取決於應用。該裝置還采用先進的視頻檢測技術,用於檢測表面汙染和評估晶圓平整度和表面軋制。檢測機由一系列傳感器組成,這些傳感器使用激光和照相機監視基板表面,向PLC提供實時反饋。無論是刻字還是刻字,DISCO DFD651都能提供出色的性能。其劃線工具和先進的檢驗系統提供了準確可靠的結果,使得高類型基板的加工具有極高的精確度。
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