二手 DISCO DFD 681 #293749283 待售
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DISCO DFD 681是由DISCO Hi-Tec製造的高速劃線/切片機。它旨在在用於制造集成電路的半導體基板上產生精確的光掩模圖樣。這臺生產質量的塗抹/切割機配備了高精度、兩軸定位級、精密空氣軸承主軸和冷卻級。此外，該機器還配備了一個集成視覺設備，用於定位、定向和連續檢查光掩模。該視覺系統具有內置的掃描攝像頭和邊緣探測器，可確保高精度的光掩模配準。DISCO DFD681使用高功率激光器，能夠在單個通道內快速曝光整個光掩模，對激光器的曝光區域進行持續監測，以確保低強度和高像差，從而確保高分辨率圖樣。雙軸級允許在加工過程中精確放置，空氣軸承主軸提供激光的精確控制。冷卻階段穩定基板溫度，最大限度地減少熱應力，從而引起基板扭曲。DFD 681有一個高效的自動化裝卸單元和一個閉環控制，最大限度地減少來自環境光的光掩模曝光。該機器易於編程,為各種處理提供了靈活性。它提供了一個用戶友好的控制工具，具有用於存儲大型數據集的大內存容量。該資產的設計目的是以最高的精度制造最復雜的光掩模圖案。其可靠、通用性的設計滿足了生產、開發線路對制造尖端集成電路的要求。DFD681是大批量生產最先進的光掩模圖樣的理想選擇。
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