二手 DISCO EAD 6340R #9262549 待售

DISCO EAD 6340是一種為半導體晶片的切割而設計的自動化精密劃線和切割設備。該系統采用了安裝在激光器上的激光切片機，這是一種結合了劃線激光器和菱形尖頭切片機的工具，用於劃線和切片。該單元集成了10-200 µm劃線允許的寬操作範圍，最大2英寸晶圓尺寸，± 300 µm劃線間距精度。EAD 6340采用高功率CO2激光劃線，產生精確的凹槽和微尖端特征。在深線劃線的應用中，激光頭被設計成在劃線後編輯和同時劃線高反射和吸收基板提供一個幹凈的切割。而且,激光頭具有很高的剛度,保證了晶圓加工的非常高的精度.對於切片,EAD 6340包括用於冷卻切片刀片的熱噴氣機,以及用於調整切片刀片切角和距離的激光掃描工具。此外，該資產還配備了高精度的三維運動控制器，能夠準確控制切塊刀片的位置和運動。采用先進的運動控制技術,EAD 6340支持高速處理,即使過程條件發生變化。此外，EAD 6340的集成自動對準模型利用嵌入式視頻設備對基板上的晶片切片進行精確對準。該系統除了具有高精度的比對外，還利用先進的晶圓邊緣識別單元來提高工藝均勻性和晶圓產量。EAD 6340還包括高壓安全閥和通過防止氣體和顆粒排放來保護環境和工人的煙霧收集機等集成安全功能。此外，該工具的用戶友好的圖形用戶界面確保了方便和直觀的操作，以高效的晶圓處理。總體而言,DISCO EAD 6340是用於半導體晶片精密塗抹和切割的功能強大且用途廣泛的自動化資產。其復雜的模型設計可確保在一系列復雜的制造任務中始終保持準確可靠的性能。