二手 MITSUBOSHI DIAMOND INDUSTRIAL / MDI MS-700 #9094449 待售
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MITSUBOSHI DIAMOND INDUSTRIAL/MDI MS-700是一種用於加工半導體材料的先進的抄寫/切割設備。該系統是一種高精度、高度通用和具有成本效益的方法,用於評估矽片並將其劃分為稱為「切割」的細分。該單元由計算機控制的「抄寫員頭」、激光光源和鉆石工具組成。劃線頭是一個電子舞臺,將金剛石工具精確地移動和定位在晶圓表面正上方。激光機器用於在晶片表面上創建標記,金剛石工具用於刻畫表面。金剛石工具由兩個垂直固定在一起的金剛石金剛石刀片組成,刀片的交點決定了抄寫員斷線。一旦劃線頭正確對齊,激光光源就被用來將兩個精確生成的標記光束投射到晶圓上。梁以90度角相交,用於創建「標記錨點」。從這裏鉆石工具用於創建實際的抄寫員斷線。金剛石刀具由步進電機移動,可以使刀片精確移動,並與標記梁精確對準。該工具以25毫米/秒的速度和0.8N的壓力操作,以「高速劃線模式」進行,每秒劃線8次。得到的分離晶片定位準確,準備進一步處理。該工具具有0.1mm的高精度可重復性,在八個運動方向上分辨率為5微米。此外,MDI MS-700資產還利用一種「運動校正器」,在劃線過程中穩定刀頭的運動。該型號體積小巧,重量輕,設計方便在生產線上安裝。總之,三菱金剛石工業金剛石工業MS-700是一種用於半導體材料加工的先進的塗抹/切割設備。該系統配有計算機控制的抄寫員頭、激光光源和金剛石工具,能夠實現高精度的抄寫和切割過程。該單元適合大批量生產,其運動校正器和高度精確的運動允許精確切割和切割半導體材料。
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