二手 ROTH & RAU DEPx1500 #185721 待售

ROTH&RAU DEPx1500是一種多功能太陽能生產設備,專為高性能和最大吞吐量而設計。這種生產機械是為在包括高效後表面太陽能電池生產在內的多種應用中持續運行而設計的。這一太陽能生產設備配備了靈活的處理模塊平臺，允許對矽片進行高質量的處理。其先進的流程自動化功能可以同時自動處理多個單元，並允許用戶設置特定的自動化例程，以最大程度地減少生產時間和最大限度地提高吞吐量。DEPx1500使用蝕刻和沈積技術進行加工。蝕刻技術將矽從晶片的頂層移除，並將矽沈積在底層。在蝕刻過程中，該裝置產生均勻的線條圖樣，具有最小的重新沈積、深層均勻的溝槽和較高的蝕刻速率。該裝置還具有沈積特性，可沈積均勻的氮化矽、二氧化矽、非晶矽等薄膜。ROTH&RAU DEPx1500專為高速低缺陷生產而設計.它配備了大型工作臺和節能抽水系統，以加快循環。真空系統設計為提供溫度均勻性和均勻壓力。它還有一個自動晶圓映射機，可以測量給定工藝條件下晶圓的表面地形。DEPx1500還包括綜合質量控制和缺陷檢查系統，以減少浪費。其基於激光的缺陷檢測系統可以檢測到缺失或未對準的表面特征和顆粒汙染。軟件控制參數提供精確的控制和精確的過程再現性。此外,ROTH&RAU DEPx1500還具有先進的安全特性.它有一個牢固粘合的基板，防止晶圓損壞和防止潛在的電氣和熱危險。高端溫度管理系統進一步防止溫度損失，確保基板和工藝溫度按照規定的工藝參數進行維護。這使得DEPx1500成為安全可靠的太陽能生產設備。