二手 ROTH & RAU / OTB SOLAR MicroCluster400DRM #293608661 待售
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ID: 293608661
晶圓大小: 4"
優質的: 2012
PVD System, 4"
Process: SiO2
(2) Magnetrons
(2) DRM Chambers
2012 vintage.
ROTH&RAU/OTB SOLAR MicroCluster400DRM是OTB SOLAR產品系列的高效太陽能生產設備。它為可靠和高質量的太陽能電池生產提供了最高的可靠性和正常運行時間。OTB SOLAR MicroCluster400DRM是一種高端、可擴展的自動化設備,非常適合半導體生產,具有高可用性和正常運行時間。它有一個自動化的晶圓處理程序和一個全面的材料處理系統,並設計以滿足所有的需求的現代化,高效的制造過程。其集成過程控制單元具有高精度校準和廣泛的可用參數。這臺機器有助於保證最佳、可重復的處理性能,從而實現高水平的質量控制。該工具具有四個交互級別,每個級別都有各種自動化、手動和校準參數。這些級別使用戶能夠創建自定義配方和處理步驟以滿足其獨特的需求。ROTH&RAU MicroCluster400DRM節能,采用單相或三相電源。與傳統系統相比,這可以大大降低能源成本。它還采用熱回收技術,利用過程中多余的能量維持一致的工作環境。擁有激光掃描檢測、溫度監測控制、應急電源開關等先進安全功能。這為性能和過程完整性提供了保證。MicroCluster400DRM每小時可處理約400個晶圓。這對於大批量生產、提高效率和降低運營成本是有利的。總體而言,ROTH&RAU/OTB SOLAR MicroCluster400DRM具有廣泛的功能,可以使太陽能電池生產更加可靠、經濟高效和高效。它將自動晶片處理與全面的材料處理資產、高度精確的過程控制模型以及高級安全功能結合在一個包中。其高可用性和正常運行時間、低能耗和高級安全功能以及高性能功能使其成為太陽能電池生產的理想選擇。
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