二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-49247 #293821010 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Endura 2 Reactor是一種最先進的設備，設計用於先進的薄絲加工，如半導體材料、光致抗蝕劑或電介質的沈積。其獨特的配置結合了高真空、低溫的環境和先進的材料源面板，實現了對薄膜厚度、成分和臺階覆蓋的精確控制。AMAT Endura 2反應堆由四個低溫源板包圍的主室組成。在源面板上，用戶可以附著多種材料，如金屬、氧化物、氮化物或多晶矽，加熱至精確溫度。這樣可以更好地控制薄膜的特性,如組成、階梯覆蓋和熱電阻率。此外，這些面板便於使用薄膜和復雜的沈積剖面。APPLIED MATERIALS Endura 2 Reactor內部的主室是一個高真空環境，由四個渦輪分子泵位於其每一個角落維持。位於腔室中心的集成石英板提供了一個堅固的平臺，在該平臺上安裝和操縱源和樣品支架。室內壓力通常降低到0.1-0.2 mtor的極低範圍，從而實現超高純度沈積，無雜質。Endura 2的有效操作需要部分腔室填充氣體，例如氦氣或氙氣，以維持在所需範圍內的壓力。除主室外，AMAT/APPLICED MATERIALS Endura 2反應堆還設有集成控制系統，以確保對過程變量的精確控制並實現可重復結果。該單元利用Xycom XPNT控制機與精密運動控制器和以太網通信，允許用戶為薄膜沈積編程一流的工藝配方數據。AMAT Endura 2反應堆的附加好處包括運行成本低，腳印相對較小，清潔能力極佳。它的設計考慮到了環境責任，並獲得了MPZ國際質量標準的廣泛認可的環境認證。總體而言，APPLIED MATERIALS Endura 2 Reactor為先進的薄膜處理提供了可靠、計算機控制的平臺，實現了高質量材料沈積的精確、可重復、低成本的結果。