二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Chamber for DPS #293634864 待售

AMAT, Inc.（APPLIED MATERIALS）DPS腔室是一種濕蝕刻和幹灰系統，主要用於半導體加工應用。DPS代表精密服務部，這個會議廳的前身。它是一種水平流動蝕刻器和灰化器，這意味著它通常使用液體或固體化學物質操作，這些化學物質垂直循環通過腔室內部。DPS室采用不銹鋼結構，焊接電解質級鋁襯裏耐用，性能良好。大約三分之一的腔室內襯有可移動的高溫玻璃插件。該室還具有圍繞進氣口和出口口的不銹鋼真空密封。該腔室設計為能夠以高度的可重復性和精確度同時處理單個晶片或多個晶片。晶片通過機械指柄固定在腔室內部，並通過真空端口固定在腔室底板上。這使腔室能夠保持密集的氣體氣氛，並能夠有效的濕蝕和化學交換操作。DPS腔室中使用的化學物質可以根據應用情況而有所不同，但一般包括氫氟酸（HF）、硫酸（H2SO4）、氫氧化鉀（KOH）、檸檬酸（Citric Acid）以及其他多種酸和堿。正在加工的晶片暴露於化學蒸氣或汽化液體混合物中，通常是氧氣或氮氣，這有助於促進所需的化學蝕刻或灰化過程。該腔室還配備了大氣控制功能，以保持腔室內恒定壓力，最大限度地降低顆粒汙染風險。腔室與真空系統相連，在腔室內提供受控且均勻的壓力，以及在腔室內保持低壓。在腔室的外部，有許多控件和儀表用於管理腔室內的過程。這使操作員能夠監測腔室壓力、正在使用的化學物質以及溫度。此外，腔室還可以配備各種傳感器和警報器，使操作員能夠跟蹤和監控過程的進展。DPS腔室是半導體晶片蝕刻和灰化的絕佳工具。為電子設備的制造提供了可靠、受控的環境。該腔室可用於多種工藝，包括深反應性離子蝕刻（DRIE）、濕蝕刻、化學氣相沈積（CVD）和化學機械拋光（CMP）。這種可靠、可重復、準確的工藝使得DPS腔室成為制造高性能、高精度元件的絕佳選擇。