二手 RIBER 401-1000 #293600163 待售

分子束外延是制造高質量半導體材料的一種革命性方法。RIBER 401-1000是一種分子束外延設備，用於高品質薄膜的生長。可用於生產多種原子尺度厚度的復合底物。為了實現這一點，系統使用了一個涉及多個來源和一個生長室的過程。在源端，有電子束蒸發器、固體有機金屬源、固體金屬源和氣體裂解這四個獨立的源。所有源都通過強大的計算機界面進行控制，為材料控制和樣品均勻性提供了一系列可能性。加熱的電子束用於蒸發材料，而固體有機金屬和金屬源含有試劑和摻雜劑，可引入生長室，而氣體裂解源適用於需要分裂的材料。生長室配備了可調節的溫度、壓力和流量控制，具有原位熱處理選項和幾個方便的特點，如快速管道加熱和自動快門定位。這為材料控制和基板的高均勻性提供了一系列全面的可能性。該機組還裝有一個溫度控制的廢氣凈化室，保證生長室中只存在非常低水平的雜質，從而產生高質量的材料。401-1000采用緊湊的框架和低振動結構,專為純半導體材料和摻雜半導體材料的生長而設計,可提供各種基材,從金屬到合金再到單晶基材。該機是制造先進半導體器件的絕佳選擇，對器件制造過程中產生的結構、摻雜劑和缺陷密度提供了優越的控制。它的低振動平臺可確保生產高質量的材料和裝置，而不會產生任何變形或缺陷，而其過程中的光譜分析和檢測工具則可以對生產過程進行快速表征和監測。是研究和生產應用的絕佳工具。