二手 AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT 3290 #9247552 待售
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ID: 9247552
Sputtering system
With wafer heater power supply
(2) MKS 250 Controllers
Remote source meter
FLUKE 1722A Instrument controller
Wide range thin film monitor control
FLUKE 8840A Digital multimeter
Wafer loader control
Inner locking and interface chassis control
VARIAN Vacuum controller
Shutter monitor control
VARIAN 8800RS Vacuum ionization gauge
RF Matching controller
Cassette motor control
VARIAN Turbo-V-301-AG Controller
VARIAN Temperature monitor
Power cabinet
(2) AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT 6286A DC Power supplies
Power: 20 V, 10 A
Deposition source control
(2) CPI CPW-12/480 Power supplies
PLASMATHERM HFS1000D RF Generator
CTI-CRYOGENICS 8200 Compressor
(2) EDWARDS OQDP40 Vacuum pumps
NESLAB System III Chiller
With THORNTON Digital control
TOSHIBA 4200FA System.
AGILENT/HP/HEWLETT-PACKARD/KEYSIGHT 3290濺射設備是一種現代化的高性能設備，設計用於各種顯示器、光電等科學應用的薄膜濺射和多層堆棧沈積。HP 3290 System是一個完全自動化的多源平臺,具有集成的流程控制單元,可執行高度可重復的流程。AGILENT 3290單元有四個獨立的磁助濺射源、旋轉、傾斜和移動濺射目標，以及一個倒計時計時器。所有的組分都可以針對不同的帶狀速率、不同的角度和其他參數進行調整，以優化沈積過程。KEYSIGHT 3290的多方面軟件功能允許數據管理和容易的結果傳輸以及對流程信息的訪問和密集的圖書館功能。它提供了薄膜厚度、尺寸、均勻性和其他參數以及薄膜沈積的其他重要方面的綜合跟蹤。HEWLETT-PACKARD 3290 Machine配備了一個針對多種材料和基材的閉環自動壓力控制和分析工具，允許真正的原位過程控制。該資產采用氣體混合模型，兩級燃燒室配有獨立的臺式儀器，保持壓力和質量讀數的一致性。其可配置的電源可運行到四個等離子體源,確保實現均勻和幹凈的沈積。3290濺射設備具有一個自成一體的自動熱真空裝置，其中組件可以放置在一個手套箱內，在可控大氣層的情況下承受高達250°C的溫度範圍，樣品基板可以機械固定到位。這種設置不需要昂貴的真空室和其他昂貴的組件。AGILENT/HP/HEWLETT-PACKARD/KEYSIGHT 3290提供了出色的可重復性和一致的結果,在降低成本和材料浪費的同時提高了生產效率。HP 3290因其用途廣泛,是任何實驗室或研究中心的理想設備,可在受控環境中快速、高質量地濺射薄膜。
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