二手 AIRCO TEMESCAL HRS 2550 #89776 待售

AIRCO TEMESCAL HRS 2550是由AIRCO/Temescal為先進的薄膜沈積應用而設計的濺射設備。它是一種高可靠性、大容量的系統，廣泛用於電介質、金屬和半導體在各種基板上的沈積。HRS 2550具有強大的雙板濺射裝置,可實現高精度和可重復的結果。該單元最多可容納四個基板，並在每個腔室上設有可調節的快門，以提供額外的多功能性。AIRCO/Temescal AIRCO TEMESCAL HRS 2550機配備了先進的數字控制模塊，可以進行精確的參數管理和高精度的材料沈積。數字控制包括多處理器工具監視器、內置語言解釋器、實時時鐘和集成運動控制器。這允許資產以非用戶定義模式運行，並允許為各種薄膜應用選擇預設參數。AIRCO/Temescal HRS 2550型號還包括先進的濺射元件，如磁驅開關和雙快門機構，以確保沈積精度和準確性。磁驅開關設備可以方便、精確地選擇濺射沈積速度，並可以精確、可重復的結果。雙快門機構提供精確的薄膜厚度控制，並允許精確、可重復的薄膜沈積，甚至在不均勻的基板上。AIRCO/Temescal AIRCO TEMESCAL HRS 2550系統還具有內置的反應性離子蝕刻（RIE）功能,可精確蝕刻薄膜材料。RIE功能還允許復雜的多層圖樣,並提供高精度的薄膜拋光和鈍化。總體而言，AIRCO/Temescal HRS 2550是一種高性能、大容量的濺射裝置，設計用於精確、可重復的薄膜沈積。該機耐用可靠性強，具備先進的數字控制、精確的濺射元件和反應性離子蝕刻能力。因此，它是高端薄膜沈積和蝕刻應用的理想工具。