二手 AJA ATC 3400-V #9213688 待售

AJA ATC 3400-V是為高DOI薄膜應用而設計的高性能濺射設備。該系統利用電子束蒸發技術，以高速率有效濺射復合氧化鋁薄膜。它采用兩種高性能離子源，產生均勻的高密度等離子體，並提供優越的均勻沈積速率，提供優越且經濟高效的沈積控制。該單元可以垂直或水平配置操作，設計為與直流（DC）和交流電（AC）操作兼容。ATC 3400-V提供自動化的過程監測和控制,以及先進的離子束分析（IBA）技術,能夠測量元素分布和晶粒尺寸,以及測量薄膜內的晶粒尺寸分布。該機為濺射提供了六種標準目標選擇--Al-Ni目標、Al-SiC目標、Ni@@-C目標、Al-Ta目標、Al-Sn目標和Al-Cu目標。此外，該工具還提供了一種外部氣體資產，可用於濺射α-Al2O3、β-Al2O3和TiO2。該模型還包括一個在線服務監視器，該監視器可以識別濺射過程中的異常並診斷問題，然後才能損壞薄膜。AJA ATC 3400-V工作環境溫度範圍為4°C至40°C，相對濕度範圍為0%-85%。它提供了兩個加熱負載鎖，可以容納直徑達十二英寸的基板。ATC 3400-V的堅固設計提供高達20 μ m/min的高沈積速率，確保適合大批量生產。AJA ATC 3400-V的設計考慮到安全性,具有物理和電子安全功能。設備包括一個安全存儲模塊和一個E-STOP交換機,可在需要時快速輕松地關閉系統。此外,該設備還能夠通過遠程網絡進行控制,在操作機器時無需在同一位置進行操作,從而讓您放心。總之，ATC 3400-V是一種適用於生產高DOI薄膜的高性能濺射工具。它提供了監測和控制沈積速率的自動化過程，以及一系列高性能離子源和目標選項。它還設計了堅固的組件，以實現較高的沈積速率，並具有安全功能，以實現安心。