二手 AJA INTERNATIONAL ATC Orion 8 #293809480 待售
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ID: 293809480
優質的: 2011
Sputtering system
Deposition chamber: 15.6" x 14" OD, Vacuum chamber with flange
O-Ring seal
Chamber bottom: 16.5" CF With copper gasket
No substrate heater
(1) Argon Mass Flow Controller (MFC)
(5) DC guns
No RF guns
Target: 3"
RF substrate bias:100W
Chamber body:
CF Viewport with integrated shutter, 6"
Turbopump / Gate valve (8" CF)
Vacuum gauges ((2) 2.75" CF, (1) 1.33" CF)
Substrate holder flange
Vent valve
Load-lock (10" CF)
2.75" CF and 6" CF Ports
(2) Removable stainless steel chamber liners
Integrated instrument rack
Heavy duty caster
Leveling feet and powder-coated table top
Chamber light mounted table top
Hinge for chamber top
Water mainfold with flow sensor
Vacuum pumping:
700 l/s PFEIFFER wide range turbopump with controller
Cables and delayed vent valve
8.2 CFM Alcatel dry
Lobe type backing pump with integral valve
Interconnecting plumbing
(3) DC Supplies
RF Supply
Power: 600 W
Automated 4-Way DC Switch box
Cable set
Vacuum gauge:
GRANVILLE-PHILLIPS 307 Gauge controller
(3) Head outputs with Nude ion gauge, convectron gauge and Baratron gauge heads: 100 mTorr
QUARTZ Crystal thickness monitor:
Single low profile
Crystal sensor
Heat sink
Controller
Oscillator
Cable
(10) Crystals
Substrate holder:
(3) Accommodates, 3"
Continuous motorized rotation: 0 to 40 RPM, Controller
Standard transferable, aluminum, 7" OD x 0.25"
Custom transferable, aluminum, 7" OD x 0.25"
RF/DC Biasing capability
Power supply: 100 W
Gas handling:
Mass flow controlled gas line (Ar): 100 SCCM with pneumatic isolation valve filter
Pressure control / Vacuum valves:
VAT Series 64 Closed loop
Automatic pressure control
Isolation gate valve
Manual vent valve
CF Size: 8"
Load lock:
Low volume aluminium chamber
Single billet
Removable loading door
Magnetic transfer arm with custom susceptor
Full range vacuum gauge
Wide range: PFEIFFER 80 Litres p/s
Compound turbomolecular pump with delayed vent
TMP Controller
Interconnecting plumbing
(4) CFM Alcatel mechanical backing pumps
Isolation gate valve: 10" CF
Main chamber with load-lock adaptor flange
2011 vintage.
AJA INTERNATIONAL ATC Orion 8是代表薄膜沈積技術顯著進步的尖端濺射設備。這一通用系統的設計滿足了研究和工業應用的要求，需要對薄膜沈積過程進行高精度和控制。該單位擁有一系列創新的特點和能力，使其成為從事微電子學、光學和材料科學等各個領域的研究人員和工程師的首選。ATC Orion 8的一個關鍵特點是其先進的磁控管濺射技術，使薄膜在基板上的沈積精確而均勻。該機器利用磁控管濺射源使氣體原子電離並沈積到基板表面，從而能夠創造出具有特殊厚度控制和均勻性的薄膜。這項技術確保了高沈積速率和優秀的薄膜質量,使AJA INTERNATIONAL ATC Orion 8成為需要高性能薄膜的廣泛應用的理想選擇。ATC獵戶座8最多配備了八個濺射源，為用戶提供了沈積多層材料層、打造復雜薄膜結構的靈活性。該工具提供了廣泛的目標材料，包括金屬、合金和氧化物，允許用戶根據自己的具體要求定制沈積過程。此外，該資產還具有一個旋轉的基板支架，能夠在大面積上沈積，並具有均勻的薄膜厚度分布。在控制和監控能力方面，AJA INTERNATIONAL ATC Orion 8配備了用戶友好的界面，可以方便操作和實時監控沈積過程。該模型配備了先進的工藝控制軟件，使用戶能夠精確調整氣流、功率水平、沈積時間等沈積參數，達到所需的薄膜性能。此外，設備還配備了現場診斷工具，可實時監測薄膜的生長和厚度，確保高可重復性和一致的薄膜質量。ATC Orion 8的設計考慮了可擴展性,允許用戶升級系統,並增加功能和特性,以滿足不斷變化的研究和生產需求。該單元采用高質量的組件和材料來構建,以確保長期的可靠性和性能一致性。此外，這臺機器的占地面積很小，適合空間有限的實驗室環境。總體而言,AJA INTERNATIONAL ATC Orion 8濺射工具是最先進的薄膜沈積應用解決方案,需要高精度、靈活性和可靠性。憑借先進的磁控管濺射技術、多個濺射源以及用戶友好的界面,ATC Orion 8為研究人員和工程師提供了一個探索新型薄膜材料和結構的強大工具。無論是在學術界還是工業界，AJA INTERNATIONAL ATC Orion 8對於那些尋求提升薄膜沈積能力的人來說都是值得信賴的選擇。
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