二手 AJA Orion 5 #293817160 待售

製造商
AJA
模型
Orion 5
ID: 293817160
晶圓大小: 4"
Sputtering chamber, 4" (5) Confocal sputtering guns (3) 700-Watt Direct Current (DC) power supplies (2) 300-Watt Radio Frequency (RF) power supplies and matching networks (1) 50-Watt Radio Frequency (RF) power supply and matching network for substrate etch Load lock Rotating platen.
AJA Orion 5是為各種薄膜技術工藝而設計的濺射設備。它使用戶能夠為先進的光伏、顯示器、觸摸屏和微電子設備制造透明的氧化物、氮化物和金屬介電膜。該系統采用五室真空濺射裝置,使用戶能夠創建厚度優化的高精度薄膜層。五室特性允許使用不同的濺射配置,為各種應用要求提供了靈活性。機器包括一個自動六軸,或X,Y,Z,滾動,傾斜和旋轉機器人室的濺射目標的精確定位。這允許精確控制濺射分布和幾何參數。引擎蓋設計還提供了可調磁場,這有助於在基板上均勻的沈積速率。獵戶座5為各種不同的材料如鋁、矽、鉻、金等化合物提供了一系列的濺射目標,以實現不同的性能。它還提供了濺射顆粒在多個基質上的直接沈積,而沒有額外的沈積技術。此工具用戶友好,允許用戶監視過程狀態,以及監視壓力、溫度、氣流、濺射電流和時間等參數。它還具有自動排氣室和氣瓶連接等安全特性。AJA Orion 5還包括功能強大的軟件,允許用戶控制壓力、電壓、電流、溫度、沈積壓力和基板尺寸等濺射參數。軟件還提供厚度和均勻性信息等數據分析功能,以及其他薄膜特性,可用於優化過程。總體而言,Orion 5是一種先進的濺射資產,在用戶友好的軟件包中提供靈活性、可靠性和精確度。通過其五室設計、多重濺射目標和強大的軟件能力,能夠生產出用於先進技術過程的優質薄膜。
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